藝慈 X射線鍍層膜厚儀技術(shù)指標(biāo)

X射線激發(fā)源：5OKV/1000μA-鎢靶X光管及高壓電源
探測器及分辨率：SDD探測器，分辨率140±5eV
分析元素范圍：原子序數(shù)16（S）～92（U）
分析元素及層數(shù)：一次可同時(shí)分析多達(dá)24種元素及5層鍍層
分析厚度范圍：檢測覆蓋層厚度一般在50μm以內(nèi)
檢出限：鍍層金屬元素厚度薄可達(dá)0.005μm
定位精度：0.001mm
測量時(shí)間：10s及以上
樣品平臺移動(dòng)范圍：120mm×120mm
樣品腔升降平臺移動(dòng)高度：0～150mm
工作環(huán)境要求
工作電源：交流220±5V
周圍不能有強(qiáng)電磁干擾
環(huán)境溫度要求：15℃～30℃
環(huán)境相對濕度：<70%

藝慈 X射線鍍層膜厚儀性能優(yōu)勢

1.精密的三維移動(dòng)平臺

2.的樣品觀測系統(tǒng)

3.良好的圖像識別

4.輕松實(shí)現(xiàn)深槽樣品的檢測

5.四種微孔聚焦準(zhǔn)直器，自動(dòng)切換

6.雙重保護(hù)措施，實(shí)現(xiàn)無縫防撞

7.采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限，提高測試精度

全自動(dòng)智能控制方式，一鍵式操作!

開機(jī)自動(dòng)自檢、復(fù)位；

開蓋自動(dòng)退出樣品臺，升起Z軸測試平臺，方便放樣；

關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺，下降Z軸測試平臺并自動(dòng)完成對焦；