X射線熒光光譜儀是由物質(zhì)中的組成元素產(chǎn)生的特征輻射，通過側(cè)里和分析樣品產(chǎn)生的的產(chǎn)生與特性當(dāng)用高能電子束照射樣品時(shí)，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負(fù)的加速度會(huì)產(chǎn)生寬帶的連續(xù)X射線譜，簡(jiǎn)稱為連續(xù)潛或韌致輻射。另一方面，化學(xué)元素受到高能光子或粒子的照射，如內(nèi)層電子被激發(fā)，則當(dāng)外層電子躍遷時(shí)，就會(huì)放射出特征X射線。

　　X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：激發(fā)系統(tǒng)，主要部件為X射線管，可以發(fā)出原級(jí)X射線（一次X射線），用于照射樣品激發(fā)熒光X射線；分光系統(tǒng)，對(duì)來自樣品待測(cè)元素發(fā)出的特征熒光X射線進(jìn)行分辨（主要為分光晶體）；探測(cè)系統(tǒng)，對(duì)樣品待測(cè)元素的特征熒光X射線進(jìn)行強(qiáng)度探測(cè)；儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，處理探測(cè)器信號(hào)，給出分析結(jié)果。

　　X射線熒光光譜儀的測(cè)試步驟：

　?。?）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數(shù)法、半基本參數(shù)法、經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數(shù)法測(cè)試。

　?。?）將制備好的樣片裝進(jìn)樣品杯，放入樣品交換器中，自動(dòng)進(jìn)樣至樣品室，X射線管發(fā)出原級(jí)X射線照射樣品，激發(fā)出待測(cè)元素的熒光X射線。

　　（3）樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測(cè)器測(cè)量各譜線的強(qiáng)度，根據(jù)選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測(cè)元素含量。