低溫二次熱解吸儀(Low Temperature Thermally Assisted Secondary Ion Mass Spectrometry,LT-TASIMS)是一種重要的表面分析技術(shù),主要用于對(duì)材料表面的成分、結(jié)構(gòu)和性質(zhì)進(jìn)行研究。下面將從原理、應(yīng)用和優(yōu)勢(shì)等方面介紹低溫二次熱解吸儀。
1、原理
低溫二次熱解吸儀主要基于熱解吸(Thermal Desorption,TD)和二次離子質(zhì)譜(Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMS)的原理。在TD部分,樣品受熱后,表面吸附的分子會(huì)被揮發(fā)出來(lái);在SIMS部分,通過(guò)轟擊樣品表面,產(chǎn)生二次離子,并通過(guò)質(zhì)譜儀對(duì)這些二次離子進(jìn)行質(zhì)量分析,從而得到樣品表面的成分信息。
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