OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究，通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。
OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究，通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。
特點(diǎn):
1.雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。
2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管.
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。
5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫.
技術(shù)參數(shù)
| 爐體結(jié)構(gòu) | - 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有*的溫度均勻性.
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
- 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放.
- 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。
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| 電源 | 電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲) |
| 加熱溫度 | - zui高溫度: 1100°C
- 連續(xù)溫度: 1000°C
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| 加熱區(qū) | - 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
- 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
- 選擇:
- 雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)
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| 加熱 | 冷卻 |
| 石英管 | 外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
內(nèi)管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1800 mm ) |
| 真空法蘭 | - 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過(guò)用兩個(gè)高溫“O"型圈緊密密封可獲得高真空。
- 爐子底部裝有一對(duì)滑軌
- 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。
- 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。
- 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入 樣品所在的位置。
 |  |  |  | | 左法蘭(點(diǎn)擊放大) | 右法蘭 (點(diǎn)擊方大) |
極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵)
10^-5 torr (分子泵) |
| 可選 | 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
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| 溫控儀 | 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。 控溫儀表操作視頻
控溫精度: +/-1°C |
| 混氣系統(tǒng) | 4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.- MFC 1范圍: 0~100 sccm
- MFC 2范圍: 0~200 sccm
- MFC 3范圍: 0~200 sccm
- MFC 4范圍: 0~500 sccm
- 氣路: 4 路
- 流量精度: 0.2%
- 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
- 一個(gè)混氣罐.
- 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。
- 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖
- MFC 面板(點(diǎn)擊放大)
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| 真空泵 | - 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr.
- 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .
- 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.
選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr
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作為基片用的25um厚的銅箔
(選配） | 生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
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| 尺寸（mm) | 爐體: 550 x 380 x 520
移動(dòng)架: 600x600x597 |
| 凈重 | 300 lb |
| 保修期 | 一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O"型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)） |
| 認(rèn)證 |  CE 認(rèn)證
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| 國(guó)家 | 名稱：一種快速高溫退火爐 編號(hào)：ZL-2011-2-0077168.4 尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究。 |
| 快速加熱冷卻的雙管CVD爐--操作視頻 |  |
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