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射頻電源

（點擊圖片查看詳細(xì)資料）

• 輸出：5-100W（可調(diào)），穩(wěn)定性：± 1%
• 頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性：±0.005%
• 匹配方式：手動匹配
• 冷卻方式：風(fēng)冷
• 噪音量：<50 dB
• 輸入：110 -240VAC, 50/60Hz

尺寸

可選配件

• 1英寸高真空磁控濺射頭，可自己搭建RF或DC濺射鍍膜儀
• 當(dāng)同時購買100W射頻發(fā)射器和1英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭
• 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
• 循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L / min ，水箱容積為6L
  

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)