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當(dāng)前位置：上海皓越真空設(shè)備有限公司> 供求商機(jī)> 真空高溫管式爐廠家
真空管式爐，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成，可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)（有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)），可預(yù)抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠。控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。CVD真空管式爐CVD真空管式爐CVD真空管式爐
真空高溫管式爐廠家參數(shù)：
一、真空系統(tǒng)
| 產(chǎn)品型號(hào) | 真空度（Pa） | 外形尺寸（mm）寬×高×長(zhǎng) | 真空配置 | 重量（kg） |
| HTF-101 | 6.7×10-1 | 430×460×590 | 直聯(lián)泵 | |
| HTF-103 | 6.7×10-3 | 430×550×650 | 直聯(lián)泵+分子泵 | |
| HTF-104 | 6.7×10-4 | 460×590×690 | 直聯(lián)泵+分子泵 |
二、供氣系統(tǒng)
| 產(chǎn)品型號(hào) | 通道數(shù)量 | 外形尺寸（mm）寬×高×長(zhǎng) | 流量計(jì)種類 | 重量（kg） |
| HTF-2F | 2 | 230×260×390 | 浮子流量計(jì) | |
| HTF-3F | 3 | 290×490×450 | 浮子流量計(jì) | |
| HTF-4F | 4 | 290×490×450 | 浮子流量計(jì) |
三、射頻電源
| 產(chǎn)品型號(hào) | 功率 | 外形尺寸（mm）寬×高×長(zhǎng) | 配置 | 重量（kg） |
| HTF-RF1 | 5 -300W可調(diào) | 330×410×260 | 輸出功率: 5 -300W,射頻電源頻率: 13.56 MHz,zui大反向功率: 200W | |
| HTF-RF2 | 5 -500W可調(diào) | 350×420×280 | 輸出功率: 5 -500W,射頻電源頻率：13.56 MH ,zui大反向功率: 200W |
本公司可定制各種CVD系統(tǒng)。
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