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真空計常見的幾種類型
閱讀：2903 發(fā)布時間：2020-11-6
真空計常見的幾種類型如下：
1、真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān)，屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。
2、相對真空計：由一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進刻度，必須進行校準(zhǔn)才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計的種類很多，如熱傳導(dǎo)真空計和電離真空計等。
3、根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)與氣體成分無關(guān),薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。