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PBS-510D型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空規(guī)（計(jì)） PBS-510C型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空規(guī)（計(jì)） PBS-510B型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空規(guī)（計(jì)） VR-208C-510D高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì) VR-208C-510C型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì) VR-208C-510B型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì) VR-208C-510A型高精度標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì)
談?wù)勲娙荼∧ふ婵沼?jì)
閱讀：1951 發(fā)布時(shí)間：2020-5-9
電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過(guò)鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號(hào)，所以，它的測(cè)量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無(wú)關(guān)，即：薄膜真空計(jì)是一種直接測(cè)量式的、全壓型的真空計(jì)。
而我們的真空設(shè)備的真空度測(cè)量控制常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì)、熱偶計(jì)等等間接測(cè)量的真空計(jì)，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測(cè)量方法，簡(jiǎn)單一點(diǎn)來(lái)說(shuō)，就是通過(guò)測(cè)量感受氣體溫度的方法來(lái)間接測(cè)量氣體壓強(qiáng)（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測(cè)量方法，。由于測(cè)量原理上的先天不足，這類真空計(jì)的測(cè)量精度、測(cè)量穩(wěn)定度是很不好的。其測(cè)量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級(jí)（誤差大于30%，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是50%），尤其是在低真空段，誤差更大，另外，使用過(guò)電阻計(jì)、熱偶計(jì)的度知道，這些儀表測(cè)量前還需要零點(diǎn)、滿度校正，怎么能夠用于在線測(cè)量控制呢？另外，遇到氫氣等小質(zhì)量的氣體就無(wú)法測(cè)量了，如果要測(cè)，也查表?yè)Q算，到底真空度是多少？猜吧。
不過(guò)，它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的：制造容易、價(jià)格低廉，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著,……用過(guò)電阻計(jì)的都領(lǐng)教過(guò)它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買(mǎi)到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測(cè)量機(jī)理的真空傳感器。所以選擇真空計(jì)、真空傳感器、首先要看看什么原理、什么類型的，而不是數(shù)字、智能，測(cè)量機(jī)理陳舊，再怎么數(shù)字、怎么智能，也于事無(wú)補(bǔ)的。
現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，涉及的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛、真空應(yīng)用設(shè)備對(duì)儀器儀表的要求越來(lái)越高，特別是對(duì)測(cè)量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動(dòng)控制性能要求也越來(lái)越高，這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果，甚***成功與否。在精細(xì)化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。
許多新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)之所以老是無(wú)法實(shí)現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果，往往就是因?yàn)檎婵諟y(cè)控儀表選型不當(dāng)、其實(shí)際的測(cè)量控制精度無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)要求所造成的。
當(dāng)然，薄膜真空計(jì)也不是*的，首先是價(jià)格高，國(guó)內(nèi)一般是4-6千元，量限低的貴些；進(jìn)口則1.6—2.5萬(wàn)元/只左右；其次，國(guó)內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂，需要經(jīng)常校正，要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊，國(guó)內(nèi)材料科學(xué)相對(duì)落后造成的，溫度穩(wěn)定性不好；還有一個(gè)量程跨度小，國(guó)內(nèi)的不超過(guò)3個(gè)數(shù)量級(jí)。第三是國(guó)產(chǎn)規(guī)嬌氣，容易壞，有油污進(jìn)去很難清洗，要用丙酮，清洗挽救13往往會(huì)報(bào)廢，小量程的23會(huì)壞。
所以，我們需要有一種具有國(guó)產(chǎn)價(jià)格、進(jìn)口品質(zhì)的、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計(jì)。緊跟*的真空測(cè)量新技術(shù)，我們能夠做得到的。
分析國(guó)外的薄膜真空計(jì)與我們舊式國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品的有什么不同呢？一是陶瓷薄膜真空壓力測(cè)量技術(shù)、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過(guò)大規(guī)模厚膜電路（國(guó)內(nèi)有些廠家還是20年前的007運(yùn)放），將薄膜電容測(cè)量機(jī)構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積??；（其典型代表如萊寶627、英福康TCBG等等）。學(xué)習(xí)和引進(jìn)*核心技術(shù)，采用*新型IC,根據(jù)我國(guó)真空設(shè)備配套測(cè)控儀表的特點(diǎn)，研制出的陶瓷薄膜真空計(jì)，其測(cè)量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)*可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了。根據(jù)國(guó)內(nèi)設(shè)備的習(xí)慣，控制柜上數(shù)字面板表，還是經(jīng)常使用的，采用專門(mén)設(shè)計(jì)的具有真空測(cè)控特點(diǎn)的精密二次儀器儀表，借籍于現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的科技成果，有利于提供測(cè)量的精度、分辨率、穩(wěn)定性和可靠性，增加智能化的自動(dòng)控制功能，（可以配接任何一種模擬量、數(shù)字量的接口，比進(jìn)口的薄膜真空計(jì)更靈活、更方便）
實(shí)踐證明，具有現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計(jì)使用到（環(huán)保能源生物醫(yī)藥常用設(shè)備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機(jī)、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機(jī)等設(shè)備，做真空測(cè)量和自動(dòng)控制帶來(lái)*地方便和性能提高，可以快速升級(jí)為智能型的真空應(yīng)用設(shè)備。當(dāng)然，也可以用到科研實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室作為相應(yīng)的真空段的0.1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)器，陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩(wěn)定度達(dá)到0.1%以上
而我們的真空設(shè)備的真空度測(cè)量控制常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì)、熱偶計(jì)等等間接測(cè)量的真空計(jì)，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測(cè)量方法，簡(jiǎn)單一點(diǎn)來(lái)說(shuō)，就是通過(guò)測(cè)量感受氣體溫度的方法來(lái)間接測(cè)量氣體壓強(qiáng)（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測(cè)量方法，。由于測(cè)量原理上的先天不足，這類真空計(jì)的測(cè)量精度、測(cè)量穩(wěn)定度是很不好的。其測(cè)量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級(jí)（誤差大于30%，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是50%），尤其是在低真空段，誤差更大，另外，使用過(guò)電阻計(jì)、熱偶計(jì)的度知道，這些儀表測(cè)量前還需要零點(diǎn)、滿度校正，怎么能夠用于在線測(cè)量控制呢？另外，遇到氫氣等小質(zhì)量的氣體就無(wú)法測(cè)量了，如果要測(cè)，也查表?yè)Q算，到底真空度是多少？猜吧。
不過(guò)，它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的：制造容易、價(jià)格低廉，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著,……用過(guò)電阻計(jì)的都領(lǐng)教過(guò)它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買(mǎi)到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測(cè)量機(jī)理的真空傳感器。所以選擇真空計(jì)、真空傳感器、首先要看看什么原理、什么類型的，而不是數(shù)字、智能，測(cè)量機(jī)理陳舊，再怎么數(shù)字、怎么智能，也于事無(wú)補(bǔ)的。
現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，涉及的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛、真空應(yīng)用設(shè)備對(duì)儀器儀表的要求越來(lái)越高，特別是對(duì)測(cè)量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動(dòng)控制性能要求也越來(lái)越高，這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果，甚***成功與否。在精細(xì)化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。
許多新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)之所以老是無(wú)法實(shí)現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果，往往就是因?yàn)檎婵諟y(cè)控儀表選型不當(dāng)、其實(shí)際的測(cè)量控制精度無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)要求所造成的。
當(dāng)然，薄膜真空計(jì)也不是*的，首先是價(jià)格高，國(guó)內(nèi)一般是4-6千元，量限低的貴些；進(jìn)口則1.6—2.5萬(wàn)元/只左右；其次，國(guó)內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂，需要經(jīng)常校正，要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊，國(guó)內(nèi)材料科學(xué)相對(duì)落后造成的，溫度穩(wěn)定性不好；還有一個(gè)量程跨度小，國(guó)內(nèi)的不超過(guò)3個(gè)數(shù)量級(jí)。第三是國(guó)產(chǎn)規(guī)嬌氣，容易壞，有油污進(jìn)去很難清洗，要用丙酮，清洗挽救13往往會(huì)報(bào)廢，小量程的23會(huì)壞。
所以，我們需要有一種具有國(guó)產(chǎn)價(jià)格、進(jìn)口品質(zhì)的、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計(jì)。緊跟*的真空測(cè)量新技術(shù)，我們能夠做得到的。
分析國(guó)外的薄膜真空計(jì)與我們舊式國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品的有什么不同呢？一是陶瓷薄膜真空壓力測(cè)量技術(shù)、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過(guò)大規(guī)模厚膜電路（國(guó)內(nèi)有些廠家還是20年前的007運(yùn)放），將薄膜電容測(cè)量機(jī)構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積??；（其典型代表如萊寶627、英福康TCBG等等）。學(xué)習(xí)和引進(jìn)*核心技術(shù)，采用*新型IC,根據(jù)我國(guó)真空設(shè)備配套測(cè)控儀表的特點(diǎn)，研制出的陶瓷薄膜真空計(jì)，其測(cè)量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)*可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了。根據(jù)國(guó)內(nèi)設(shè)備的習(xí)慣，控制柜上數(shù)字面板表，還是經(jīng)常使用的，采用專門(mén)設(shè)計(jì)的具有真空測(cè)控特點(diǎn)的精密二次儀器儀表，借籍于現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的科技成果，有利于提供測(cè)量的精度、分辨率、穩(wěn)定性和可靠性，增加智能化的自動(dòng)控制功能，（可以配接任何一種模擬量、數(shù)字量的接口，比進(jìn)口的薄膜真空計(jì)更靈活、更方便）
實(shí)踐證明，具有現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計(jì)使用到（環(huán)保能源生物醫(yī)藥常用設(shè)備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機(jī)、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機(jī)等設(shè)備，做真空測(cè)量和自動(dòng)控制帶來(lái)*地方便和性能提高，可以快速升級(jí)為智能型的真空應(yīng)用設(shè)備。當(dāng)然，也可以用到科研實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室作為相應(yīng)的真空段的0.1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)器，陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩(wěn)定度達(dá)到0.1%以上