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SGC-10薄膜測(cè)厚儀

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  • 品牌 港東科技
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 天津市
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更新時(shí)間:2018-04-25 07:33:31瀏覽次數(shù):1317

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SGC-10薄膜測(cè)厚儀,適用于介質(zhì),半導(dǎo)體,薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測(cè)量。該薄膜測(cè)厚儀,是我公司與美國(guó)new-span公司合作研制的,采用new-span公司*的薄膜測(cè)厚技術(shù),基于白光干涉的原理來(lái)測(cè)定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k)。

詳細(xì)介紹

強(qiáng)大的軟件功能:

界面友好,操作簡(jiǎn)便,用戶點(diǎn)擊幾下鼠標(biāo)就可以完成測(cè)量。便捷快速的保存、讀取測(cè)量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強(qiáng)大,可同時(shí)測(cè)量多達(dá)四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測(cè)量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù)。材料庫(kù)中包含了大量常規(guī)的材的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)。用戶可以非常方便地自行擴(kuò)充材料數(shù)據(jù)庫(kù)。

 

產(chǎn)品功能適用性:

該儀器適用于多種介質(zhì),半導(dǎo)體,薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測(cè)量。

 

典型的薄膜材料為:

SiO2CaF2、MgF2、光刻膠、多晶硅、非晶硅、SiNxTiO2、聚酰亞胺、高分子膜。

 

典型的基底材料為:

SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、鋁丙烯酸、藍(lán)寶石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

儀器具有開(kāi)放性設(shè)計(jì),儀器的光纖探頭可很方便地取出,通過(guò)儀器附帶的光纖適配器(如圖所示)連接到帶C-mount的顯微鏡(顯微鏡需另配),就可以使本測(cè)量?jī)x適用于微區(qū)(>10μm,與顯微鏡放大率有關(guān))薄膜厚度的測(cè)量。

技術(shù)指標(biāo):

 

名稱

參數(shù)

厚度范圍

20nm-50um(只測(cè)膜厚),

100nm-10um(同時(shí)測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)n,k)

根據(jù)薄膜材料的種類,其范圍有所不同。

準(zhǔn)確性

<1nm或<0.5%

重復(fù)性

0.1nm

波長(zhǎng)范圍

380nm-1000nm

可測(cè)層數(shù)

1-4

樣品尺寸

樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

測(cè)量速度

5s-60s

光斑直徑

1.2mm-10mm可調(diào)

樣品臺(tái)

290mm*160mm

光源

長(zhǎng)壽命溴鎢燈(2000h)

光纖

純石英寬光譜光纖

探測(cè)器

進(jìn)口光纖光譜儀

電源

AC100V-240V,50HZ-60HZ

重量

18kg

尺寸

300mm*300mm*350mm


 

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