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薄膜測厚儀產(chǎn)品特點

閱讀:402        發(fā)布時間:2019-7-8
  薄膜測厚儀產(chǎn)品特點
  采用進(jìn)口傳感器,測厚分辨率高達(dá)0.1微米選用傳動元件,確保了試驗結(jié)果的穩(wěn)定性與準(zhǔn)確性。
  大液晶屏顯示,操作簡便,配備微型打印機(jī)直接打印試驗報告。
  另外具有電腦通信接口,通過選購軟件實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、查詢、打??;軟件功能強(qiáng)大,可將成組試驗數(shù)據(jù)用柱形圖或列表方式進(jìn)行統(tǒng)計,試結(jié)報告可直接在局域網(wǎng)或廣域網(wǎng)中進(jìn)行傳輸。
  典型的基底材料為:
  SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、鋁丙烯酸、藍(lán)寶石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。
  儀器具有開放性設(shè)計,儀器的光纖探頭可很方便地取出,通過儀器附帶的光纖適配器(如圖所示)連接到帶C-mount的顯微鏡(顯微鏡需另配),就可以使本測量儀適用于微區(qū)(>10μm,與顯微鏡放大率有關(guān))薄膜厚度的測量。
  強(qiáng)大的軟件功能:
  界面友好,操作簡便,用戶點擊幾下鼠標(biāo)就可以完成測量。便捷快速的保存、讀取測量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強(qiáng)大,可同時測量多達(dá)四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù)。材料庫中包含了大量常規(guī)的材的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)。用戶可以非常方便地自行擴(kuò)充材料數(shù)據(jù)庫。

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