大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）適合SEM（掃描電鏡）、FE-SEM（場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡）、TEM（透射電鏡）。EMS300R T 與EMS150R T相似，明顯區(qū)別是EMS300R T腔室足夠大，達(dá)到203mm，采用旋轉(zhuǎn)真空泵抽真空；此外，它配備三個(gè)獨(dú)立的濺射頭，確保靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。（注意：既能濺射不易氧化金屬，又能濺射易氧化金屬，另見(jiàn)EMS300T T） 。

特征參數(shù)：

    1、 可以進(jìn)行超大樣本（直徑至203mm）的金屬鍍膜

    2、 三個(gè)濺射頭確保濺射沉積質(zhì)量

    3、 單靶材選擇功能，可以進(jìn)行小樣本鍍膜

    4、 多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選

    5、 選擇裝配膜厚監(jiān)測(cè)儀可以精確控制膜厚

    6、 全自動(dòng)觸摸屏控制，快速數(shù)字輸入，操作簡(jiǎn)便

    7、 可以儲(chǔ)存不同用戶的程序

    8、 能夠記錄100個(gè)鍍膜細(xì)節(jié)

    9、 真空自動(dòng)控制，且具有真空保持功能

    10、 落入式樣品臺(tái)拆裝方便（標(biāo)配是旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)）

    11、 zui長(zhǎng)60分鐘不間斷鍍膜能力

    12、 符合人體工程學(xué)的整體注塑機(jī)身

    13、 電氣符合CE要求

    14、 三年質(zhì)保

樣品臺(tái)

    EMS300R T有多種型號(hào)的樣品臺(tái)可以選擇，用于滿足目前大部分需求。落入式設(shè)計(jì)使得不同型號(hào)的樣品臺(tái)之間更換簡(jiǎn)便，樣品臺(tái)除了行星臺(tái)外其高度均可調(diào)，旋轉(zhuǎn)速度在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)可調(diào)。

• 扁平樣品臺(tái)，用于晶圓的鍍膜（152mm-203mm），標(biāo)配
• 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，50mm，不能傾斜
• 旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)，50mm，高度可調(diào)（靶材與樣本之間的距離在30-80mm之間可調(diào)），傾斜角度在0-30度之間
• 用于撥片的旋轉(zhuǎn)臺(tái)

加高腔室：需要時(shí)可以得到（付費(fèi)）

儀器參數(shù)：

真空

其它重要信息

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