美國(guó)Aalborg高精度質(zhì)量流量計(jì)

設(shè)計(jì)特點(diǎn)
－剛性金屬結(jié)構(gòu)
－流量控制范圍從0 開(kāi)始到10 sccm 直到0到100 slpm
－zui大壓力500 psig （34.5 Bar）
－0-5伏和4-20mA信號(hào)
－泄漏率低于1 x 10-9 smL/sec 的 helium
－精度±1%
－電路保護(hù)
－計(jì)算匯總功能

主要技術(shù)參數(shù)

精度：1％FS

重復(fù)性: ±0.2% 全量程；

響應(yīng)時(shí)間: 1到2 秒（ 流量不同略有差別）

溫度系數(shù): 0.1% /FC

壓力系數(shù): 0.01% 全量程/ 0.07 bar （1 psi）；

可選氣壓:1.73 bars （25 psig）.

zui大氣壓: 70 bars （1000 psia）.

氣體和環(huán)境溫度: 5C to 50C （41F to 122F）.

信號(hào)輸出: Linear 0-5 Vdc （3000 歐姆 低阻抗負(fù)載）; 4-20 mA 供選 （500 歐姆環(huán)阻）.zui大噪音 20mV 峰對(duì)峰.

輸入電源: zui大15Vdc, 450 mA;

材質(zhì)：316不銹鋼，416不銹鋼, Viton7 O形圈；Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供選擇.