英福康高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)HPG400將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼真空計(jì)綜合，在一個(gè)小型, 輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中, 測量壓強(qiáng)從 2 x 10-6 毫巴至大氣壓（1.5 x 10-6 乇至 大氣壓）。 HPG400提供高度的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測量, 用于準(zhǔn)確濺射過程的壓強(qiáng)控制。

優(yōu)勢

1.英?？蹈邏簭?qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)節(jié)省成本和設(shè)備空間, 降低真空測量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

2.高壓強(qiáng)熱電離真空計(jì)從1×10-5至1毫巴為要求高的過程控制提供準(zhǔn)確, 可靠的壓強(qiáng)測量

3.用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10-2至1毫巴之間起始工作

4.皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱陰極防止它過早燒毀

5.備有可選的圖形顯示器和Fieldbus接口

6.高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)整, 減少操作人員的干預(yù)

用途

1.半導(dǎo)體制造中濺射工藝應(yīng)用, 電子學(xué)和傳媒工業(yè)

2.工業(yè)鍍膜

3.在低至高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制