低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導(dǎo)真空計。熱傳導(dǎo)真空計主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。代表性的熱傳導(dǎo)真空計包括Pirani PSG500真空計和熱電偶真空計。

    原理
        金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,兩端連接電極。通過電極給白金細(xì)線提供電流時,白金細(xì)線會發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會被奪走。單位時間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時以下公式成立 
        Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs （1）
        Q是單位時間細(xì)線放出的熱量,R是細(xì)線的電阻,I是細(xì)線的電流。

        氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為
     Ｑg = αΛπｄａ（Ｔ－Ｔ0）ｐ （2）

        T和T0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細(xì)線長度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下
        Ｑs = Ｓκ（Ｔ－Ｔ0）/Ｌ （3）

        Ｑr = πｄａσε（Ｔ4－Ｔ04） （4）

         （3）是電極的熱傳導(dǎo),其中S是細(xì)線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,Ｌ是電極的長度。（4）式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則（3）和（4）式為常數(shù)。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為
       Ｉ2Ｒ = Ａｐ ＋ I02Ｒ （5）

        Ａ = αΛπｄａ（Ｔ－Ｔ0） （6）

        I0是壓力為0的時候細(xì)線的電流, 是彌補固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來的熱量損失。Ａ式是不依存壓力的定數(shù)

    如果已知細(xì)線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過（5）式求得壓力P。