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從手機、電腦,到汽車、電器,再到醫(yī)療儀器、航空裝備,我們生活中的很多事物都離不開先進的半導體技術,而產(chǎn)量和規(guī)模的不斷增長,也讓芯片制造工藝越來越精密。準確的泄漏檢測技術,是確保半導體產(chǎn)品質(zhì)量和提升生產(chǎn)效率的關鍵。
應用廣泛,全流程覆蓋
英??稻_的泄漏檢測方案可確保對半導體工藝至關重要的真空條件的完整性。即使是極微小的泄漏,也可加以識別和修復,以確保半導體特性。
使用示蹤氣體進行泄漏檢測,可有效防止顆粒和污染物的進入,維護半導體潔凈室嚴格的潔凈度標準。
英福康的泄漏檢測技術,包括示蹤氣體的使用,可有效識別定位不同配置的復雜半導體設備中的各種泄漏。
精確、高靈敏度的泄漏檢測方案可確保識別極微小的泄漏,以保持半導體制造工藝所需的純度,防止缺陷和確保產(chǎn)品質(zhì)量。
英??档男孤z測方案與半導體材料兼容,可確保不會損壞或改變半導體制造中所用材料的性能。
英??堤峁┑目煽啃孤z測系統(tǒng)能夠以極快的速度獲得可靠的結(jié)果,從而提高半導體制造的產(chǎn)能。快速識別和解決泄漏問題也是最大限度減少停機時間,確保生產(chǎn)效率的關鍵。
英??档男孤z測方案可與自動化系統(tǒng)無縫集成,實現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控和即時泄漏響應,并有助于提高半導體自動化制造過程的整體設備效率 (OEE)。
英福康致力于開發(fā)經(jīng)濟高效的泄漏檢測解決方案,在準確性和成本之間取得平衡。
產(chǎn)品多樣,性能良好
UL6000 Fab
UL3000 Fab
UL1000 Fab
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