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原理：三次元量測(cè)儀可定義為：一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳送訊號(hào)，三個(gè)軸之位移量測(cè)系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)（x,y,z）及各項(xiàng)功能量測(cè)的儀器。

其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測(cè)系統(tǒng)俗稱光學(xué)尺，其光源經(jīng)過(guò)瞄準(zhǔn)透鏡而投射到游動(dòng)刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生Moire條紋明暗訊號(hào)之原理，由光電管接收其信號(hào)，經(jīng)放大及修正后即可顯示出來(lái)，其系統(tǒng)及輸出信號(hào)情形。
操作：

1、量測(cè)前準(zhǔn)備：

（a）檢查空氣軸承壓力是否足夠
（b）安裝工件

2、測(cè)頭選擇及安裝：

（a）將適當(dāng)之測(cè)頭裝于Z軸承接器
（b）檢視Z軸是否會(huì)自動(dòng)滑落（否則應(yīng)調(diào)整紅色壓力平衡調(diào)整閥）
（c）鎖定各軸之適當(dāng)位置

3、量測(cè)操作：

（a）開(kāi)啟處理機(jī)電源
（b）啟開(kāi)打印機(jī)開(kāi)關(guān)
（c）參考操作手冊(cè)，選擇所需功能之指令
（d）進(jìn)行量測(cè)，并讀出量測(cè)值

4、完成后注意事項(xiàng)：

（a）Z軸移至原來(lái)位置后，鎖定
（b）X,Y軸各移至中央，鎖定
（c）關(guān)電源及壓力閥
（d）取下測(cè)頭
（e）并作適當(dāng)?shù)谋ｐB(yǎng)