目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學精密儀器>> FPLAU-H6-23進口spin coater,勻膠儀,甩膠儀,旋涂儀
| 應用領域 | 能源,電子,綜合 |
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這款進口spin coater是高精度勻膠儀,勻膠臺,甩膠儀,涂膠儀,旋涂儀,結構緊湊,具有先進的功能,可安裝到手套箱中使用。適合150mm晶圓和5英寸×5英寸（127mm×127mm）基板使用，最大轉速為12000RPM（基于100mm硅片）.
進口spin coater包括一款無線平板電腦，該平板電腦采用Laurell Touch過程控制軟件。通過使用其附帶的PC軟件Spin 3000，它在過程定義和使用方面實現(xiàn)了靈活性。該無線控制器允許操作員在流程執(zhí)行期間從實驗室的任何位置進行實時交互，包括暫停時間、停止和從該點繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將在現(xiàn)場通過可下載的固件版本輕松快速地持續(xù)更新。
進口spin coaterPC的使用增加了記錄進程運行、遠程操作、編程或跨局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)通信的能力。該軟件免費提供，允許操作員在實際安裝的spin coater硬件之外創(chuàng)建虛擬流程模擬，實際上，讓他們在提交流程之前嘗試。所有進口spin coater都可以通過簡單的插件模塊（無論是實際的還是虛擬的）升級或重新設計，無需返回工廠，并且可以包含幾乎無限數(shù)量的過程和步驟。
進口spin coater的外殼通常由Laurell Technologies專有的固體共聚共混物制成。與天然聚丙烯不同，這種材料能夠抵抗溶劑和強酸強堿。樣品可根據(jù)要求進行測試和驗證?？商峁┕腆wPTFE Hostaflon®TFM-1600/Teflon®AF外殼（適用于高溫化學和亞微米顆粒研究）。
進口spin coater閉式碗設計，加上過程控制器的精度，允許大多數(shù)涂層材料在靜態(tài)狀態(tài)下干燥，提高均勻性并將顆粒污染降至低。上部增壓室在底座內(nèi)部關閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導至系統(tǒng)后部，防止化學品意外滴到基材上。
進口spin coater專有的迷宮密封保護電機和控制電子設備免受化學污染。該密封為工藝室提供氮氣吹掃，并在現(xiàn)場測試期間證明在亞微米水平上無顆粒。該系統(tǒng)的蓋子耐化學腐蝕，并在整個系統(tǒng)的非濕潤區(qū)域使用涂有ECTFE的316不銹鋼螺釘固定。
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