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激光超聲粘合連接檢測(cè)儀是為檢測(cè)微電子器件粘合連接材料（金屬間結(jié)構(gòu)）和鍵合狀態(tài)的激光超聲成像設(shè)備,還能檢測(cè)空洞和表面裂紋,采用微激光超聲技術(shù)Laser Ultrasonic實(shí)時(shí)進(jìn)行失效分析,三維成像并可把測(cè)試結(jié)果存檔。
我們的激光超聲粘合連接檢測(cè)儀采用的微激光超聲技術(shù)比傳統(tǒng)的接觸式方法有了很大的改進(jìn)。測(cè)試點(diǎn)不需要接觸，也不會(huì)改變其形狀。采用非接觸式的激光激勵(lì)比接觸試式的要柔和得多。而且激光被用作信息的載體，這樣測(cè)試的速度比任何自動(dòng)引線(xiàn)鍵合機(jī)都快得多（不到百萬(wàn)分之一秒），使其能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化和實(shí)時(shí)過(guò)程控制。
我們的激光超聲粘合連接檢測(cè)儀不需要牽引和剪切，被測(cè)材料可以通過(guò)高速傳輸平臺(tái)“轉(zhuǎn)向"到激光束上。因此，鍵合完整性測(cè)試可以通過(guò)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的場(chǎng)景來(lái)執(zhí)行。通過(guò)嵌入式機(jī)器視覺(jué)、高分辨率傳感器和數(shù)字信號(hào)處理算法，該技術(shù)可以在無(wú)需操作員干預(yù)的情況下自動(dòng)搜索、定位和測(cè)試粘接完整性。操作員只需裝卸被測(cè)零件。除了測(cè)定金屬間材料（在半導(dǎo)體球鍵下）的連接完整性外，我們的激光超聲技術(shù)還可以用來(lái)表征表面材料的結(jié)構(gòu)。

激光超聲粘合連接檢測(cè)儀技術(shù)背景
激光超聲技術(shù)Laser Ultrasonic集成了脈沖激光和連續(xù)波激光探測(cè)器感應(yīng)裝置。簡(jiǎn)單地說(shuō)，脈沖激光器向待測(cè)物件（例如，半導(dǎo)體互連過(guò)程中常用的球鍵）發(fā)送一個(gè)能量受控的激光脈沖,引起待測(cè)區(qū)域熱彈性激發(fā)響應(yīng)。這種激勵(lì)誘導(dǎo)超聲波在鄰近材料上傳播（表面波和體波）。連續(xù)波激光器（探測(cè)器）獲取表面波的結(jié)構(gòu)和大小，然后對(duì)表面波進(jìn)行分析，并將其與連接材料的連接狀態(tài)關(guān)聯(lián)起來(lái)。激光超聲技術(shù)Laser Ultrasonic可以進(jìn)一步描述為經(jīng)典的“池塘中的鵝卵石"場(chǎng)景，即鵝卵石落入池塘中間，從而在水面上產(chǎn)生“尾跡"或一系列波浪,這種“尾跡"從池塘中心向外傳播。通過(guò)觀察和關(guān)聯(lián)尾流的特性，可以確定池塘中水的流動(dòng)性，以及卵石的大小、高度和速度。
我們的激光超聲技術(shù)裝置是由控制良好的光束組成的，激光束直徑大小可聚焦到微小尺度,適應(yīng)半導(dǎo)體材料和微電路的小型化趨勢(shì)。0.005"和0.001"鍵合位置旁硅表面上的脈沖（原因）和檢測(cè)（效果）光束。梁的直徑約為0.0005英寸。

激光超聲粘合連接檢測(cè)儀軟件特點(diǎn)
用戶(hù)友好界面
我們基于Windows的圖形用戶(hù)界面（GUI）集成了系統(tǒng)所需的所有硬件，為最終用戶(hù)提供了一個(gè)非常友好和主動(dòng)的操作環(huán)境。我們的系統(tǒng)在5種不同的操作模式下運(yùn)行：
校準(zhǔn)模式–在此模式下執(zhí)行系統(tǒng)校準(zhǔn)和故障排除。
編程模式–通過(guò)單步執(zhí)行要測(cè)試的部件來(lái)支持部件預(yù)編程。程序只能由授權(quán)人員修改（編輯、添加和刪除）。
計(jì)算機(jī)輔助（半自動(dòng)）模式-使用鼠標(biāo)或定點(diǎn)設(shè)備通過(guò)點(diǎn)擊選擇測(cè)試材料?？梢员４鏈y(cè)試結(jié)果、測(cè)試點(diǎn)的實(shí)時(shí)圖像和原始數(shù)據(jù)，以備將來(lái)的審查和評(píng)估。
自動(dòng)模式–最終用戶(hù)可以執(zhí)行生產(chǎn)測(cè)試（多個(gè)零件），無(wú)需操作員干預(yù)（除了加載和卸載新零件）。通過(guò)/失敗分析自動(dòng)執(zhí)行并實(shí)時(shí)記錄?？梢詾檫^(guò)程控制檢索統(tǒng)計(jì)信息。
數(shù)據(jù)檢索和分析模式-檢查按零件號(hào)、客戶(hù)和制造機(jī)器排序的測(cè)試結(jié)果是一些選項(xiàng)。包括用于演示的增強(qiáng)圖形。