是高精度線性直驅(qū)平移臺(tái)Direct Drive Linear Translation Stage,采用光學(xué)編碼器和3相無(wú)鐵線性無(wú)刷伺服電機(jī)技術(shù),為用戶帶來(lái)零反沖高精度平移運(yùn)動(dòng),具有的平移精度高,重復(fù)精度高和摩擦低的特點(diǎn)。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級(jí)分辨率。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)采用自然老化鋁合金確保了平移臺(tái)高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及*良的長(zhǎng)周期運(yùn)動(dòng),導(dǎo)軌系統(tǒng)不會(huì)發(fā)生漂移。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺(tái)。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺(tái)上,可直接安裝搭建成電動(dòng)XY二維平移臺(tái),無(wú)需使用任何連接板。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)還可以安裝到花崗巖龍門(mén)架或高精度平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)高精度平移定位。
圖1：
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)實(shí)物圖高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)特點(diǎn)直接驅(qū)動(dòng)無(wú)反沖backlash系統(tǒng)
+/-0.5um雙向重復(fù)定位精度
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
高精度線性導(dǎo)向和運(yùn)載系統(tǒng)
超長(zhǎng)使用壽命
方便集成到各種平臺(tái)或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
XY二維位移臺(tái)的正交性高達(dá)<=5arcsec
非常適合激光打標(biāo),激光鉆孔,激光劃線,激光雕刻等應(yīng)用
具有灰塵防護(hù)能力
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)規(guī)格1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)絕對(duì)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測(cè)量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用
11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測(cè)試,電子自相關(guān)儀
11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) ***大速度由編碼器限制和驅(qū)動(dòng)器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)***大加速度由驅(qū)動(dòng)器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m
0,通常是沒(méi)有負(fù)載時(shí)的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動(dòng)器有助于發(fā)揮電動(dòng)平移臺(tái)的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來(lái)選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動(dòng)或被動(dòng)LCMv2接口.
11) 可組成正交性能**的XY二維電動(dòng)位移臺(tái)系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺(tái)包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境
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