目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>光學(xué)測(cè)量系列>>探針臺(tái)>> FPCRE-van-der范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)
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更新時(shí)間：2024-07-16 13:49:08瀏覽次數(shù)：366評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天 |
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范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)VAN DER WAALS是為半導(dǎo)體芯片不同材料在位置的堆積過程研究設(shè)計(jì)的范德瓦爾斯位移臺(tái)。
范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)具有2個(gè)獨(dú)立的XYZ位移臺(tái)，1個(gè)XYZ位移臺(tái)安裝有探針臺(tái)微定位器,另外一個(gè)XYZ位移臺(tái)移動(dòng)加熱的樣品卡盤,并帶有一個(gè)精密旋轉(zhuǎn)臺(tái).
范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)上還有探針微定位器,采用彈簧加載支持顯微鏡載玻片,與卡盤一起支持芯片。而另外的材料或結(jié)構(gòu)器件轉(zhuǎn)移或堆積在芯片上。
范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)手動(dòng)操作,需要探針臺(tái)類型的顯微鏡和長(zhǎng)工作距離物鏡。
范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)VAN DER WAALS是為半導(dǎo)體芯片不同材料在位置的堆積過程研究設(shè)計(jì)的范德瓦爾斯位移臺(tái)。
范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)具有2個(gè)獨(dú)立的XYZ位移臺(tái)，1個(gè)XYZ位移臺(tái)安裝有探針臺(tái)微定位器,另外一個(gè)XYZ位移臺(tái)移動(dòng)加熱的樣品卡盤,并帶有一個(gè)精密旋轉(zhuǎn)臺(tái).
范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)上還有探針微定位器,采用彈簧加載支持顯微鏡載玻片,與卡盤一起支持芯片。而另外的材料或結(jié)構(gòu)器件轉(zhuǎn)移或堆積在芯片上。
范德瓦爾斯轉(zhuǎn)移臺(tái)手動(dòng)操作,需要探針臺(tái)類型的顯微鏡和長(zhǎng)工作距離物鏡。
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