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FR-ES: 精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng)

FR-ES是一款輕巧便捷膜厚測(cè)量分析系統(tǒng)。使用FR-ES，用戶可以在370-1020nm光譜范圍內(nèi)進(jìn)行反射率和透射率測(cè)量。

1、膜厚儀應(yīng)用
o 大學(xué) & 研究實(shí)驗(yàn)室
o 半導(dǎo)體
o 聚合物和光刻膠厚度測(cè)量
o 化學(xué)測(cè)量
o 介電材料膜厚度測(cè)量
o 生物醫(yī)學(xué)
o 硬涂層，陽(yáng)極氧化，金屬零件加工
o 光學(xué)鍍膜
o 非金屬薄膜
o 還有更多…（請(qǐng)聯(lián)系我們提出您的應(yīng)用）

FR-ES機(jī)型提供出色的膜厚測(cè)量分析性能?？捎糜诟鞣N不同的應(yīng)用，例如：薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等.

FR-ES機(jī)型提供三種波長(zhǎng)范圍配置: VIS/NIR (370- 1020nm, NIR-N1 (850-1050nm), NIR (900-1700nm).

這里有很多可選的配件：

濾光片可阻擋某些光譜范圍內(nèi)的光
FR-Mic提供微米級(jí)別區(qū)域進(jìn)行測(cè)量
手動(dòng)載物臺(tái), 100x100mm或 200x200mm
薄膜/比色皿支架用于吸光度/透射率和化學(xué)濃度測(cè)量的薄膜/比色皿支架
積分球積分球用于漫反射和全反射反射率測(cè)量

通過(guò)不同模塊的組合設(shè)置滿足任何蕞終用戶的需求。

2、特征

o 單擊分析（無(wú)需初始值)

o 動(dòng)態(tài)測(cè)量連續(xù)測(cè)量

o n & k、色座標(biāo)測(cè)量

o 保存測(cè)量的圖像和視頻

o Multiple installations for off-line analysis

o 免廢軟件更新

3、FR-ES規(guī)格(標(biāo)準(zhǔn)配置)

機(jī)型

VIS/NIR

NIR

NIR-N1

WL Range -nm Pixels

Min Thick -SiO2 Max Thick SiO2 Max Thick -Si

n&k -Min. Thickness Thick. Accuracy *,** Thick. Precision*,**

Thick. stability *,**

370 –1020

3648

12nm 100um

100nm 1nm / 0.2% 0.05nm

0.05nm

900 – 1700

512

50nm 250um

500nm 3nm / 0.4% 0.1nm

0.15nm

850-1050

3648

1um 500um 300um

50nm / 0.2%

Light Source Integration Time Spot size

Material Database Dimensions/Weight

Power

Halogen (internal), 10000h (MTBF)

5msec (min)

Diameter of 350um (smaller spot size as option)

> 700 different materials 20x22x6cm (LxWxH), 1.8Kg (stage excluded)

110V/230V, 50-60Hz, 10W

4、配件

計(jì)算機(jī)	筆記本電腦/觸摸屏PC，19英寸屏幕
聚焦模塊	安裝在反射探頭上的光學(xué)模塊，用于直徑<100μm的光斑尺寸
膜厚/比色皿套件	標(biāo)準(zhǔn)比色皿中的薄膜或液體進(jìn)行透射測(cè)量
接觸探頭	曲面樣品的反射率和厚度測(cè)量，具有高橫向分辨率的基于顯微鏡的反射率和厚度測(cè)量
顯微鏡	用于測(cè)量涂層和表面的鏡面反射和漫反射
積分球sphere	手動(dòng)X-Y平臺(tái)，用于測(cè)量100mm x 100mm或200mm x 200mm的區(qū)域