美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀：美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。
美國FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備
FSM500TC 應(yīng)力測量儀
美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀特殊功能和優(yōu)點
1、多重導(dǎo)向銷設(shè)計，手動裝載樣品，有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。
2、優(yōu)異的分辨率——測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡(大約 0.8%)
3、全3D測繪的手動旋轉(zhuǎn)平臺。
4、測量局部應(yīng)力---測量42 點/mm 并大于8400 點/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。
5、*封閉的設(shè)計，溫度更穩(wěn)定。
6、特殊的設(shè)計使震動偏移降到zui低。
7、圖形式使用界面更容易使用。
8、當(dāng)改變彈性模數(shù)，晶圓或薄膜厚度設(shè)備會自動重新計算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。
9、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。
10、可以計算應(yīng)力的均勻性。
11、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel ，提供給SPC 分析
軟件
軟件提供大量參考方案。參考方案是用于轉(zhuǎn)換*掃描數(shù)據(jù)組。這種功能可以通過重新計算數(shù)據(jù)組去獲得不同環(huán)境的快速答案，而不用再次測量晶圓，這會節(jié)約許多時間和金錢。
有些情況下初始晶圓是沉積晶圓，而用戶需要參考一張裸片去計算應(yīng)力。我們的軟件可以讓用戶開啟加熱循環(huán)，然后清除沉積物做*掃描測量。這為客戶提供了靈活性，不限于*掃描，第二次掃描序列。
多層薄膜測量，用戶可以執(zhí)行在首層第二層以外的不同層的多層掃描。它也允許用戶計算由不同層產(chǎn)生的應(yīng)力或由所有鋪設(shè)層在相同的數(shù)據(jù)文件中提供的組合應(yīng)力。這大大提高了設(shè)備的測量能力，特別適用于研究環(huán)境里。
美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀
為了測量應(yīng)力，單片晶圓在掃描線上會被測量兩次，而晶圓的放置正確是獲得準確和重復(fù)性好的數(shù)據(jù)的關(guān)鍵。因此我們的晶圓卡盤專門設(shè)計成非常容易地準確放置晶圓，這不需要用戶太多的操作技巧，進一步降低對測量數(shù)據(jù)的影響。
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