FilmSense 橢偏儀 FS-1

創(chuàng)新的

FilmSense FS-1多波長(zhǎng)橢偏儀使用長(zhǎng)壽命LED光源設(shè)計(jì)，使用壽命大于5000小時(shí)，同時(shí)FS-1的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)沒(méi)有轉(zhuǎn)動(dòng)部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性?？偟膩?lái)講，F(xiàn)S-1是一臺(tái)簡(jiǎn)單易用的緊湊型設(shè)計(jì)的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測(cè)量。

強(qiáng)大的

大多數(shù)透明薄膜的膜厚度從0-1000nm都可以測(cè)量，F(xiàn)S-1提供不錯(cuò)的準(zhǔn)確度與良好的穩(wěn)定性，而且在1秒時(shí)間內(nèi)就可以得到測(cè)量結(jié)果，同時(shí)光學(xué)常數(shù)n和k和其他性能也可以測(cè)量。

負(fù)擔(dān)得起的

FS-1是多波長(zhǎng)橢偏儀，但用戶(hù)可以用相當(dāng)于單波長(zhǎng)橢偏儀或光譜反射儀系統(tǒng)的價(jià)格，卻得到多波長(zhǎng)橢偏儀的品質(zhì)。FS-1可用于實(shí)驗(yàn)室研究，教學(xué)，在線(xiàn)制程監(jiān)控，工業(yè)品質(zhì)控制等應(yīng)用。

什么是橢偏儀

橢偏儀是測(cè)量樣品反射光偏振態(tài)的變化。橢偏測(cè)量是由下面的公式量化，是相位差。ρ是反射光的偏振光Rp和偏振光Rs的反射率比。橢偏儀ψ參數(shù)是和ρ的大小有關(guān)，Δ參數(shù)是相位復(fù)合比。

用橢偏數(shù)據(jù)來(lái)分析確定感興趣的樣品參數(shù)，如薄膜厚度和折射率，光學(xué)模型等

橢偏儀的優(yōu)點(diǎn)：

1、橢偏儀是測(cè)量比率，所以它對(duì)光束強(qiáng)度的變化，或樣品的缺陷引起散射光不敏感的。

2、橢偏儀在每個(gè)波長(zhǎng)測(cè)量2個(gè)量(Ψ and Δ)，可以確定2個(gè)定量比如薄膜厚度，以及光學(xué)常數(shù)或基底的折射系數(shù)和消光系數(shù)。

3、橢偏儀對(duì)薄膜Δ參數(shù)相位差極其敏感，能夠準(zhǔn)確的測(cè)量薄膜厚度低至0Å。

FilmSense 橢偏儀 FS-1主要特點(diǎn)：

1、四種LED光源：藍(lán)色（465nm）、綠（525nm），黃色（580nm），紅色（635nm）

2、在沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件的橢偏儀

3、優(yōu)異的厚度測(cè)量精度，優(yōu)于0.001nm的樣品（1秒獲得測(cè)量結(jié)果），甚至適用于亞單原子層膜的厚度

4、集成計(jì)算機(jī)儀器控制和數(shù)據(jù)分析，任何電腦，臺(tái)式機(jī)，手提都可以從web瀏覽器界面獲得數(shù)據(jù)

優(yōu)點(diǎn)

1.長(zhǎng)壽命（>50000小時(shí)），不用頻繁更換昂貴的燈泡，或定時(shí)校正或周期維護(hù)。

2.快速多次測(cè)量（多波長(zhǎng)數(shù)據(jù)在10毫秒）且長(zhǎng)期可靠性

3.測(cè)量精度只有用橢偏儀才能達(dá)到

4.沒(méi)有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)

表現(xiàn)

FS?1測(cè)量透明單層膜的厚度和折射率,厚度測(cè)量范圍從0到1000nm.經(jīng)典的FS-1對(duì)多種樣品都能提供穩(wěn)定的測(cè)量，包括多層膜。如下表所示。如需有關(guān)測(cè)量技術(shù)和更多細(xì)節(jié)，請(qǐng)聯(lián)系Film Sense并要求我們提供測(cè)量報(bào)告。

FS-1多波長(zhǎng)橢偏儀

多波長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)

1.*的寬范圍膜厚測(cè)量功能，對(duì)于透明膜至少可達(dá)1μm（無(wú)厚度周期性問(wèn)題）。

2.測(cè)量更多的樣品參數(shù)，如：表面粗糙度，多膜厚度，折射率色散。

3.提供一致性檢驗(yàn)數(shù)據(jù)，分析一個(gè)合格?分析模型，該模型適用于四個(gè)波長(zhǎng)的數(shù)據(jù)。

*的技術(shù)

1.多?波長(zhǎng)的橢偏技術(shù)

2.光學(xué)模型補(bǔ)償?shù)腖ED帶寬

3.具備光束不對(duì)位的補(bǔ)償功能

4.模型驗(yàn)證功能

應(yīng)用

1、FS – 1是多波長(zhǎng)橢偏儀，但用戶(hù)可以用相當(dāng)于單波長(zhǎng)橢偏儀或光譜反射儀系統(tǒng)的價(jià)格，卻得到多波長(zhǎng)橢偏儀的品質(zhì)。FS -1可用于實(shí)驗(yàn)室研究，教學(xué)，在線(xiàn)制程監(jiān)控，工業(yè)品質(zhì)控制等應(yīng)用。

2、半導(dǎo)體行業(yè)：硅的氧化物和氮化物，高和低k介質(zhì)、多晶和非晶硅薄膜，光刻膠

3、光學(xué)涂覆工業(yè)：高、低折射率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。

4、顯示行業(yè)：導(dǎo)電層（如ITO），非晶硅薄膜、有機(jī)薄膜（OLED技術(shù)）

5、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)產(chǎn)業(yè)：類(lèi)金剛石薄膜

6、R&D 工序：薄膜沉積的原位表征（速率和光學(xué)常數(shù)）對(duì)應(yīng)工藝條件的變化值，適用于MBE、MOCVD、ALD、濺射等。

7、化學(xué)和生物：亞-單層材料吸附液體中的細(xì)胞實(shí)驗(yàn)檢測(cè)

8、工業(yè)：在線(xiàn)監(jiān)測(cè)和控制薄膜的厚度

光譜測(cè)量（通過(guò)光譜橢偏儀或光譜反射）有可能描述單個(gè)薄膜表征樣品或2、3層膜結(jié)構(gòu)。FS-1軟件里的模型驗(yàn)證功能也可以成功確定一個(gè)特定的樣本結(jié)構(gòu)。

原位的能力

1.亞原子單層厚度精度

2.在真空環(huán)境中，測(cè)量多種工藝條件下薄膜光學(xué)常數(shù)n&k值以及沉積速率

3.監(jiān)視和控制多層膜結(jié)構(gòu)的沉積

4.FS?API接口為外部軟件控制（LabVIEW兼容）

5.適用于大多數(shù)的薄膜沉積技術(shù):濺射,ALD,MBE,MOCVD,電子束蒸發(fā)等。

原位檢測(cè)功能

FS?1是理想的原位實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制薄膜沉積工藝的設(shè)備

1.LED光源和無(wú)運(yùn)動(dòng)部件檢測(cè)器，堅(jiān)固可靠，快速測(cè)量

2.結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕的光源和檢測(cè)器單元（≈每個(gè)1公斤）

3.可選的適配器安裝在標(biāo)準(zhǔn)的2.75?或1.33?的Conflat法蘭（可以在不關(guān)閉真空的條件下進(jìn)行安裝）

4.易于調(diào)整平臺(tái)傾斜

聚焦光束檢測(cè)

聚焦光束檢測(cè)系統(tǒng)結(jié)合了FS-1多波長(zhǎng)的橢偏儀的聚焦光學(xué)系統(tǒng)和手動(dòng)轉(zhuǎn)換平臺(tái)。該系統(tǒng)是半導(dǎo)體晶圓圖案的手動(dòng)檢查和質(zhì)量控制測(cè)量理想的工具。

•小光斑尺寸和相機(jī)成像運(yùn)行

•手動(dòng)轉(zhuǎn)換平臺(tái)，容納4，5，和6晶圓直徑。

•樣品上的光束大小：0.3×0.7毫米

•視頻觀察樣品上光束位置

軟件

FS-1軟件獲得了橢偏數(shù)據(jù)，并報(bào)告樣本參數(shù)（厚度、折射率，等等），都源于測(cè)量。FS-1軟件運(yùn)行在電腦里面的FS-1探測(cè)器單元，和一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的Web瀏覽器提供了軟件的用戶(hù)界面。任何臺(tái)式機(jī)，筆記本電腦，或平板電腦，支持現(xiàn)代Web瀏覽器（Windows，Mac OS X，Linux，iOS，Android）可以使用以太網(wǎng)連接操作的FS1（沒(méi)有互聯(lián)網(wǎng)和Web訪(fǎng)問(wèn)的情況 下）。從Web瀏覽器界面通訊主要優(yōu)點(diǎn)是，無(wú)需安裝軟件，從而大大簡(jiǎn)化了FS-1的安裝與操作設(shè)置。 

單一的測(cè)量模式使得常規(guī)樣品測(cè)量如點(diǎn)擊按鈕一樣容易。

 模型驗(yàn)證器驗(yàn)證所有的模型擬合參數(shù)將*地收斂在 的范圍內(nèi)。

 分析模型的模式提供了強(qiáng)大的功能來(lái)分析和可視化 的FS-1橢偏數(shù)據(jù)。

特征

1、常規(guī)的樣品檢測(cè)，原位多層膜監(jiān)控，多樣品測(cè)量，和軌跡數(shù)據(jù)分析模式.

2、多達(dá)10個(gè)模型層，與可選的表面粗糙度，和襯底背面校正分析功能。

3、參數(shù)范圍和初增量以提高擬合參數(shù)的匹配性.

4、Bruggeman介電常數(shù)近似以理論用于混合材料以及分級(jí)指標(biāo)層分析

5、柯西和Sellmeier色散模型。

6、溫度或成分相關(guān)的光學(xué)常數(shù)庫(kù)文件。

7、去極化或透射強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以結(jié)合多波長(zhǎng)數(shù)據(jù)分析。

8、模擬單一測(cè)量或動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)。

關(guān)于我們

Film Sense---擁有超過(guò)20年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的橢偏儀制造商。20年如一日的嚴(yán)謹(jǐn)，為的是創(chuàng)造出的橢偏儀系統(tǒng)，為廣泛范圍的薄膜應(yīng)用提供不錯(cuò)的測(cè)量解決方案。