非接觸式高分辨率近距離位移測(cè)量

 
MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）開創(chuàng)了高辨率電容式位移傳感器的先河，致力于為客戶提供以藝術(shù)級(jí)別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
MicroSense Probe 電容式位移傳感器特性
1.*非接觸式電容式微位移測(cè)量—*準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù), 無損樣品測(cè)量
2.*優(yōu)化的近距離測(cè)量—測(cè)量距離在10微米到5毫米
3.高準(zhǔn)確性，高靈敏性測(cè)量，*高精度可達(dá)0.5nm。
4.可探測(cè)任何可傳導(dǎo)性、接地的測(cè)量目標(biāo)—表面是否拋光以及材質(zhì)對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度無任何影響
5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測(cè)量,振動(dòng)測(cè)量,工作臺(tái)垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測(cè)量,精密馬達(dá)轉(zhuǎn)軸偏振測(cè)量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺(tái)定  位，設(shè)備自動(dòng)聚焦測(cè)量(微影設(shè)備，原子力顯微鏡，光罩探測(cè)，圖像確認(rèn)，LCD生產(chǎn)設(shè)備…)


Gauge 型號(hào)

            4800系列            5800系列              6800系列          8800系列        6360厚度測(cè)量系統(tǒng)  

4800系列    以至優(yōu)化的線性和穩(wěn)定性著稱, 一款多功能測(cè)量設(shè)備

5800系列    以高動(dòng)態(tài)測(cè)量著稱--高分辨率測(cè)量，可達(dá)100Khz 帶寬測(cè)量，可靠性測(cè)量甚至達(dá)觸
                     地物例如氣動(dòng)轉(zhuǎn)子和馬達(dá) 
   
6800系列    擁有皮米級(jí)別噪聲分辨率 

8800系列    以擁有*好的線性和穩(wěn)定性系統(tǒng)著稱，測(cè)量帶寬高達(dá)20K HZ,納米級(jí)分辨率，超低
                     噪聲上乘的伺服定位反饋系統(tǒng)設(shè)計(jì)

Mini系列      迷你壓縮型傳感器測(cè)量系統(tǒng)

6360系列      非接觸式，高精度測(cè)量硅片、CD、DVD、光盤厚度

        
測(cè)量探頭(Probe)形狀

                                   
         圓柱型測(cè)量探頭       45°傾角測(cè)量探頭      矩型測(cè)量探頭          直角型測(cè)量探頭
 

        
圓柱型測(cè)量探頭  探頭直徑0.5mm 到5mm 可選

45°傾角測(cè)量探頭  可緊貼圓柱形被測(cè)物測(cè)量 

矩型測(cè)量探頭  測(cè)量馬達(dá)及軸向轉(zhuǎn)動(dòng)物時(shí)可提供*大分辨率

直角型測(cè)量探頭 用于測(cè)量受限空間測(cè)量 

設(shè)備應(yīng)用

定位測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用：遠(yuǎn)程位置調(diào)節(jié)器的伺服反饋系統(tǒng)應(yīng)用 

 間距和位移測(cè)量應(yīng)用 ：空間測(cè)量及檢測(cè)  軸向位移測(cè)量

轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用：馬達(dá)精度和轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量  轉(zhuǎn)軸測(cè)量計(jì)精度校準(zhǔn)測(cè)量  直線和平面平臺(tái)精

度測(cè)量
厚度測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用：磁性介質(zhì)厚度測(cè)量 光盤厚度測(cè)量

自動(dòng)聚焦和歸零測(cè)量應(yīng)用：半導(dǎo)體硅片測(cè)量 

振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用：樣品臺(tái)精度振動(dòng)測(cè)量 轉(zhuǎn)軸振動(dòng)精度測(cè)量 主動(dòng)性防震系統(tǒng)反饋測(cè)量

設(shè)備性能及主要參數(shù)

量程  ±25µm 到±1000µm滿量程測(cè)量
分辨率  優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

帶寬 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選