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2023
02-202023
02-20【EVG新品發(fā)布】NT系列大幅度提高光刻對準(zhǔn)和測試精度
在微電子、納米、半導(dǎo)體領(lǐng)域?yàn)榫雍虾凸饪碳夹g(shù)提供設(shè)備技術(shù)方案的供應(yīng)商EVG近期推出了NT系列光刻機(jī)和對準(zhǔn)測試機(jī),這是一個全新的、已經(jīng)被生產(chǎn)廠家驗(yàn)證過的新型光刻曝光機(jī)以及晶圓對晶圓(W2W)接合曝光和...2023
02-202023
06-08光學(xué)光刻技術(shù)(Optical lithography)
1.簡介光學(xué)光刻(Opticallithography),也稱為光學(xué)平版印刷術(shù)或紫外光刻,是在其他處理步驟(例如沉積,蝕刻,摻雜)之前用光刻膠對掩模和樣品進(jìn)行構(gòu)圖的方法。2.設(shè)備(接近式光刻機(jī))2.1...2023
02-162023
02-14光學(xué)膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種薄膜產(chǎn)品的測量
光學(xué)膜厚儀的薄膜光譜反射系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度及nk,采用r-θ極坐標(biāo)移動平臺,可以在幾秒鐘的時間內(nèi)快速的定位所需測試的點(diǎn)并測試厚度,可隨意選擇一種或極坐標(biāo)形、或方形、或線性的圖形模式,...2023
01-112023
01-102023
01-102022
12-142022
11-252022
11-252023
03-162022
11-24ThetaMetrisis膜厚儀用于氧化釔 (Y2O3) 涂層厚度測量
接下來為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測量應(yīng)用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準(zhǔn)確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介...2022
11-24FR-Scanner-AIO-Mic-XY200: 微米級精度膜厚儀簡介
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),光學(xué)膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程,可在20...2022
11-212023
03-162022
10-242022
10-192022
10-19ThetaMetrisis 自動化薄膜厚度測繪系統(tǒng)介紹
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200:微米級定位精度自動化薄膜厚度測繪系統(tǒng)介紹FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層...請輸入賬號
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