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日本本多HONDA兆聲超聲波清洗原理及超聲波清洗的機(jī)理

時(shí)間:2021/5/8閱讀:2095

日本本多HONDA兆聲超聲波清洗原理及超聲波清洗的機(jī)理

 

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什么是超聲波清洗?

超聲波清洗以提高工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量

超聲波清洗是一種利用超聲波振動(dòng)水和溶劑以清洗附著在要清洗的物體(工件)上的油,細(xì)小灰塵和污垢的技術(shù)。在家附近,有一家用于眼鏡清洗的超聲波清洗機(jī),可在眼鏡店買(mǎi)到。工業(yè)用途:去除機(jī)器零件的切削油,工具的切削油,切削粉/切屑(桐子),拋光粉(拋光粉)和脫模劑,電鍍前的除油清潔,無(wú)鉛印刷廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,例如去除基板上的助焊劑和清洗半導(dǎo)體零件,極大地有助于提高工業(yè)產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。

另外,超聲波清潔器不僅用于“清潔”,還用于消泡/除氣,分散,攪拌和壓碎。

 

超聲波清洗原理

超聲波清洗通過(guò)結(jié)合超聲波的“物理作用”和清洗液的“化學(xué)作用”來(lái)獲得清洗效果。

●物理作用
空化,加速振動(dòng),順流等會(huì)剝落,分散和乳化污垢。

●化學(xué)作用
清洗液的化學(xué)作用和超聲波的化學(xué)反應(yīng)促進(jìn)作用會(huì)溶解并分解污垢。

 

超聲波清洗的機(jī)理

空化清潔

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液體中有無(wú)數(shù)的氣體分子,當(dāng)將大約20kHz至100kHz的強(qiáng)超聲波施加到液體時(shí),正負(fù)壓力會(huì)交替施加到氣體分子上。在下一刻,被正壓壓縮的氣體分子由于負(fù)壓而劇烈膨脹。由于這種重復(fù),氣體分子在壓縮過(guò)程中具有非常高的壓力,在此極限下,它們破裂并消失。這種極大的沖擊壓力的產(chǎn)生被稱(chēng)為“氣蝕現(xiàn)象”,并且當(dāng)氣泡破裂而作用于工件以分離異物時(shí)的沖擊波的作用被稱(chēng)為“氣蝕效應(yīng)”。

它主要是中低頻的清潔動(dòng)作。

實(shí)際使用超聲波清潔器時(shí),氣蝕發(fā)生的方式會(huì)根據(jù)液體深度和液體類(lèi)型而變化。因此,這些控制對(duì)于良好的超聲波清潔至關(guān)重要。

通過(guò)粒子加速清潔

977_文件

在通過(guò)超聲波進(jìn)行的超聲波清洗中,水分子被加速并撞擊工件,并且該沖擊導(dǎo)致顆粒從工件上分離。頻率越高,效果越好,并且對(duì)于剝落粘附力較弱的非常細(xì)的顆粒有效。加速度與頻率的平方成正比地增加,并且波長(zhǎng)也減小,這對(duì)于更細(xì)的粒子是有效的。

它主要是中高頻的清潔動(dòng)作。

直流清潔

當(dāng)超聲能量為0.5W / cm 2以上時(shí),從振動(dòng)表面朝著一定距離產(chǎn)生直流。相信這有助于灰塵的散布。

它主要是中高頻的清潔動(dòng)作。

 

低頻清潔

■批次式洗衣機(jī)

金屬和樹(shù)脂零件的溶劑脫脂清潔,精密金屬零件的清潔

空化的沖擊壓力可有效清除頑固污漬。去除機(jī)器零件的模具,工具的切削油,切削粉/切屑(桐子),拋光粉(拋光粉)和脫模劑,電鍍前的除油清洗,去除無(wú)鉛印刷基板上的助焊劑適用于“常規(guī)清洗” “ 如。
但是,氣蝕發(fā)生的方式會(huì)根據(jù)液體深度和液體類(lèi)型而變化,因此,這些控制對(duì)于良好的超聲波清洗是的。管理不善不僅會(huì)阻止超聲波有效地浸入液體中,還會(huì)損壞振動(dòng)表面(腐蝕)并加速隔膜的損壞。

*侵蝕:一種現(xiàn)象,其中諸如鋁之類(lèi)的柔軟材料的表面被超聲波的空化現(xiàn)象所產(chǎn)生的物理力侵蝕。產(chǎn)生的腐蝕量與超聲波強(qiáng)度成正比,與頻率成反比。

關(guān)于駐波(清潔不均)

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當(dāng)施加超聲波時(shí),根據(jù)頻率在液體中產(chǎn)生“駐波”。λ/ 2的每個(gè)整數(shù)倍都會(huì)導(dǎo)致大量污垢脫落。(Λ為一個(gè)波長(zhǎng))
去除污垢可能會(huì)損壞工作。為了減少駐波的影響,還考慮了工作擺動(dòng)和多頻振蕩。必須以平衡的方式確定清除污垢的難易程度和對(duì)工件的損壞。

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您可以從實(shí)驗(yàn)室/常規(guī)清潔中通過(guò)氣蝕來(lái)查看小型超聲波清潔器的產(chǎn)品信息。
有關(guān)大型,單獨(dú)的超聲波清潔器的產(chǎn)品信息,可用于工業(yè)用途。

 

中高頻清潔動(dòng)作

■批次式洗衣機(jī)

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半導(dǎo)體晶圓的批處理清洗

這是一種通過(guò)將多個(gè)晶片放置在MHz頻帶的超聲清洗槽中來(lái)同時(shí)清洗多個(gè)晶片的方法。
(1)由于一次可以清洗許多晶片,因此可以縮短時(shí)間;
(2)與單晶片類(lèi)型相比,清洗液的量相對(duì)較小;
(3)這種方法易于使用,例如雙層坦克已經(jīng)成為主流。
通常,當(dāng)以批處理方式使用化學(xué)溶液時(shí),通常使用以清洗槽和石英槽的雙重結(jié)構(gòu)間接照射的浸入式清洗。另外,通過(guò)使用石英罐,可以獲得避免金屬離子和雜質(zhì)溶出并保持清潔度的效果。
然而,已經(jīng)出現(xiàn)了分批式清潔的問(wèn)題,例如由于基板尺寸的增加而導(dǎo)致設(shè)備尺寸的增加以及由于基板圖案的小型化而導(dǎo)致的顆粒的重新附著。

■石英振動(dòng)式洗衣機(jī)

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下一代清潔技術(shù),損傷小,清潔度高

2006年,本田電子公司開(kāi)發(fā)了一臺(tái)石英振蕩器式超聲波清洗裝置。在該方法中,通過(guò)將超聲波疊加在石英晶體振蕩器上來(lái)清潔半導(dǎo)體晶片。與間歇式和流水式相比,可以減少化學(xué)藥品的使用量,并且濕部件僅由石英玻璃和耐化學(xué)性樹(shù)脂制成,并且填料等橡膠材料不會(huì)與液體接觸,所以很干凈,我會(huì)的。另外,通過(guò)改變晶體振蕩器的形狀,可以滿(mǎn)足需要的有效清潔,例如低損傷清潔,大面積清潔以及難以去除的斜面(端面)和凹口(晶圓末端的凹口)的清潔。臉),應(yīng)該執(zhí)行。

您可以從半導(dǎo)體行業(yè)中看到石英振蕩器式洗衣機(jī)的產(chǎn)品信息。

■自來(lái)水清洗機(jī)

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創(chuàng)自來(lái)水型清洗

1986年由我們公司在次開(kāi)發(fā)。通過(guò)將MHz頻段的高頻超聲波疊加在從噴嘴前端輻射的自來(lái)水上,可以精確地清潔工件。輻射的自來(lái)水起著傳播媒介的作用,用于在傳播超聲波的同時(shí),通過(guò)超聲波的作用剝離的污物。

您可以查看半導(dǎo)體行業(yè)的自來(lái)水清洗機(jī)的產(chǎn)品信息。

 

產(chǎn)品介紹

我們使用壓電陶瓷材料制造振蕩器,這是超聲波的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。我們?cè)O(shè)計(jì)和制造內(nèi)部設(shè)計(jì)所很有的特性振蕩器,在交付時(shí)間,質(zhì)量和成本方面均具有最佳性能,并將其整合到我們的產(chǎn)品中。

從我們多元化的超聲波清洗機(jī)產(chǎn)品陣容中,我們建議為我們的客戶(hù)找到不錯(cuò)的清洗機(jī)。

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