冠乾科技(上海)有限公司
薄膜材料的納米力學(xué)測(cè)試解決方案
檢測(cè)樣品:硅基上超薄薄膜
檢測(cè)項(xiàng)目:彈性模量
方案概述:布魯克TI系列納米材料機(jī)械性能,壓痕,劃痕,摩擦磨損具有精度很高,結(jié)合原位AFM功能,可獲得準(zhǔn)確數(shù)據(jù),排除環(huán)境因素,底材因素。
通過研發(fā)的 xProbe超低噪音傳感探頭,可以獲得超薄涂層<10nm薄膜的機(jī)械性能。避免底材的受到機(jī)械力產(chǎn)生的形變數(shù)據(jù)影響。
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項(xiàng)目名稱:福州第8.5代新型半導(dǎo)體顯示器件生產(chǎn)線項(xiàng)目,項(xiàng)目編號(hào):4197-214BOEFZ0001/...