OMT-5R系列研究級金相顯微鏡
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) | ||||||
觀察筒 | 30°傾斜，倒像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，三檔分光比雙目:三目=100：0或20:80或0:100 | 30°傾斜，正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0或0:100 | |||||
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm，視度可調(diào) | 高眼點大視野平場目鏡PL10X26.5mm，視度可調(diào) | |||||
物鏡 | 明場半復(fù)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） | 明暗場半復(fù)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） | |||||
物鏡轉(zhuǎn)換 （帶DIC插槽） | 明暗場5孔轉(zhuǎn)換器 | ，明暗場6孔轉(zhuǎn)換器 | 明場6孔轉(zhuǎn)換器 | 明場7孔轉(zhuǎn)換器 | |||
機架 | 反射用機架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強設(shè)定與復(fù)位功能 | 透反兩用機架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),雙路電源輸出，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強設(shè)定與復(fù)位功能、反射/透射光切換開關(guān),內(nèi)置透射光濾色鏡（LBD、ND6、ND25) | |||||
載物臺 | 右手位4英寸機械平臺，行程105mmx102mm，帶Y軸鎖定機構(gòu)，可帶透射系統(tǒng)擋光板，帶玻璃載物臺板 | ||||||
反射照明器 | 明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調(diào)；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 | ||||||
燈室 | 12V100W鹵素燈室，透、反射通用，預(yù)定中心 | ||||||
其他附件 | 0.5XCTV，可調(diào)焦/DIC微分干涉組件/偏振片/干涉濾色片/測微尺/CCD/測量軟件 | ||||||
OMT-5R半導體檢查顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰，襯度好。是針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為高級工業(yè)顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
南京LCD檢查觸摸屏檢查微分干涉半導體檢查顯微鏡南京LCD檢查觸摸屏檢查微分干涉半導體檢查顯微鏡
技術(shù)規(guī)格 | |
觀察頭 | 30°鉸鏈式三目（50mm-75mm） |
目鏡 | WF10×/25mm |
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | 平場無限遠長工作 距離明暗場物鏡： 10×/0.25B.D/W.D.16mm 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm |
平臺 | 雙層移動平臺 |
平臺尺寸: 350mm×310mm | |
移動范圍：250mm×250mm | |
濾色片 | 插板式濾色片（綠、藍、中性） |
調(diào)焦 | 粗、微動同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動機構(gòu) 微動格值0.002mm |
光源 | 落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素燈12V/100W，AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié) |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
檢測工具 | 0.01mm |
可供附件 | 目鏡：WF15×/17mm、WF20×/12.5mm |
130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡 | |
平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
二維測量軟件 | |
專業(yè)金相圖像分析軟件 | |
DIC（10×、20×、40×、100×） | |
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
壓平機 | |
數(shù)字相機OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C 測量軟件OMT-1.5D | |
OMT-5R特點說明
1． 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2． 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一
觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3． 采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
4． WF10X（Φ25）超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡。
5． 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。
OMT-4R金相顯微鏡(半導體顯微鏡）
用途
1）OMT-4R金相顯微鏡為蘇州歐米特型FPD檢查顯微鏡，專為LCD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導電粒子壓痕、粒子爆破檢查
2）OMT-4R金相顯微鏡機型采用4寸、6寸平臺設(shè)計，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查
特點
1）OMT-4R金相顯微鏡，其微分干涉效果可與進口品牌相媲美
2）OMT-4R金相顯微鏡機型采用全新設(shè)計的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長壽命LED光源
3）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗需要，可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察
歐米特OMT-4R金相顯微鏡技術(shù)參數(shù)（以下參數(shù)根據(jù)客戶實際需求配置）
配 置 | 參 數(shù) |
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
觀察方法 | 明場 / 斜照明 / 偏振光 / DIC |
觀 察 筒 | 30°鉸鏈式三目，分光比，雙目：三目=100：0或50：50 |
目 鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 |
轉(zhuǎn) 換 器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
物 鏡 | 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm |
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm | |
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm | |
無限遠長工作距平場半復(fù)消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm | |
無限遠長工作距平場半復(fù)消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm | |
調(diào)焦機構(gòu) | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001，帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 |
載 物 臺 | 4寸雙層機械移動平臺，行程105X105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪 6寸三層機械移動平臺，行程158X158mm，玻璃工作臺，右手位X、Y移動手輪，帶離合器手柄，可快速移動（選配）另可選配：8寸移動平臺 |
照明系統(tǒng) | 反射：帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿；單顆大功率5W LED，白色，光強連續(xù)可調(diào)；透射：單顆大功率5W LED，白色，光強連續(xù)可調(diào)；帶可變孔徑光闌 |
偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 |
CTV接口 | 1X、1/2X |
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細節(jié)展示
OMT-4R金相顯微鏡(半導體顯微鏡）
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