K550X/K500X 磁控管冷濺射鍍膜儀
- 公司名稱(chēng) 南京覃思科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) K550X/K500X
- 產(chǎn)地 英國(guó)MITECH
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2017/7/27 1:10:39
- 訪問(wèn)次數(shù) 973
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掃描電子顯微鏡;掃描電鏡;透射電鏡;超小型臺(tái)式透射電鏡;桌上型透射電鏡;英國(guó)EMITECH;電鏡制樣設(shè)備;熱蒸鍍鍍膜儀;鍍碳儀;噴碳儀;噴金儀;臨界點(diǎn)干燥儀;冷凍干燥儀;離子濺射鍍膜儀;磁電靶濺射鍍膜;高真空鍍膜儀;韓國(guó)掃描電鏡;SEM;TEM;三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x;超高倍顯微診斷儀;冷光儀;生化發(fā)光檢測(cè)儀;生物顯微鏡;金相顯微鏡;體視顯微鏡;偏光顯微鏡;熱臺(tái);表面張力/接觸角測(cè)定儀;亮度色度計(jì);色彩輝度計(jì);CCD攝像頭;顯微圖像分析軟件;顯微鏡數(shù)字化改造;3D三次元測(cè)量?jī)x
K550X具有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),它也可傾斜,非常適合各種樣品使用。預(yù)選擇參數(shù)及全自動(dòng)控制使得精確鍍層及重復(fù)厚度沉積更為方便。
磁電管靶使用低電壓,可提高效率,K550X能得到非常精細(xì)的顆粒,由于是冷濺射,所以無(wú)需冷卻靶面或樣品臺(tái)。
腔室直徑為165 mm(6英寸),非常方便裝載及移走樣品。
儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶(或用戶選擇),提供的性能價(jià)格比??蛇x靶材包括金/鈀,鉑/鈀和鉑。
功能集中在儀器面板上及即插即用電子學(xué)設(shè)計(jì),zui大的“up-time”,這些用戶友好設(shè)計(jì)滿足了不同學(xué)科的用戶需求。
濺射參數(shù)可被預(yù)先設(shè)置,包括氣體放氣針閥,此閥為電磁閥,一旦設(shè)置,它就不需要再調(diào)節(jié)。濺射頭互鎖,系統(tǒng)可容易選配K250鍍碳附件。本儀器為全自動(dòng)操作,可控制獨(dú)立的真空泵。
特點(diǎn) ● 全自動(dòng)控制 ● 低電壓濺射 ● 高分辨率精細(xì)涂層(金顆??蛇_(dá)2 nm) ● 具有傾斜裝置的特殊旋轉(zhuǎn)臺(tái) ● 均勻厚度沉積 (掃描電鏡一般厚度為20nm 或200埃) ● 165 mm(6英寸)腔室 ● 可接膜厚監(jiān)視器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)鍍覆層厚度 |
優(yōu)點(diǎn) ● 易操作 ● 無(wú)需冷卻樣品臺(tái) ● 精確的再次涂層 ● 適合各種樣品 ● 膜厚度重復(fù)性好 ● 容易裝載或卸載樣品 ● 可預(yù)設(shè)沉積厚度 |
技術(shù)規(guī)格
儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 重量:18公斤
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H
安全鐘罩:聚碳酸酯
靶:60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金作為標(biāo)準(zhǔn)靶面)
樣品臺(tái):直徑為60 mm,靶面距離40mm,具有傾斜
裝置的旋轉(zhuǎn)臺(tái)
真空范圍:ATM-1x10-2 mbar
濺射電流:0-50mA
沉積速率:0-25nm/分
濺射定時(shí): 0-4 分鐘
預(yù)設(shè)置針閥:控制氬
電源:230 伏 50Hz
(10 amp max. including Pump)