型號 

Excel1651UM/UC

Excel1652UM/UC

Excel200U 

Excel250U 

量測行程 

1250x1650x160mm

1250x1650x250mm

2000x1250x200mm 

2500x1600x200mm 

外形尺寸 

1886x2600x1650mm

1886x2600x1850mm

1886x3084x1737mm 

2252x3794x1737mm 

重量 

3,600kg

3,650kg

3,740kg 

6,800kg 

承載重量 

100kg 

平臺材質 

鋼構 

平臺設計 

龍門式 

基座材質 

花崗巖 

XY 精度 

4.0+L/300μm 

4.05+L/300μm

[5.5+L（mm）/300]μm

[5.5+L（mm）/300]μm

Z 精度 

2.8+L/150μm

3.0+L/150μm

3.0+L/150μm 

3.0+L/150μm 

加速度 

1000mm/s2（XY）, 500mm/s2（Z） 

速度 

500mm/s（XY）, 500mm/s（Z） 

光學尺解析度 

0.1μm 

影像 

高解析度彩色或黑白系統(tǒng) 

表面光, 輪廓光,同軸光光源 

紅光LED （黑白系統(tǒng)白光）
LED（彩色系統(tǒng)） 

光學系統(tǒng)/放大倍率 

12:1光學 Zoom/15x-180x or 30x-360x放大倍率 

軟體 

InSpec Metrology Software 

電控系統(tǒng) 

伺服系統(tǒng): CNC, 滑鼠, 搖桿

工作環(huán)境 

20℃±2°,30-80% 濕度 

電源系統(tǒng) 

93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp