化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>VS21 真空探針臺(tái)測(cè)試儀
VS21 真空探針臺(tái)測(cè)試儀
| 參考價(jià) | ￥111000-￥185500/件 |
- 公司名稱(chēng) 深圳市江麥智能科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號(hào)VS21
- 所在地深圳市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/2/27 17:56:22
- 訪問(wèn)次數(shù) 19
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探針臺(tái)，材料催化評(píng)價(jià)裝置，自動(dòng)配氣儀，氣路柜，真空封管機(jī)，分子泵組，VOC發(fā)生器，濕度發(fā)生器，毛細(xì)管流量檢測(cè)儀，流量檢測(cè)儀
特點(diǎn)：
★ 測(cè)量溫度寬，控溫精度高
★ XYZ三軸方向移動(dòng)，定位精度高
★ 真空漏率優(yōu)秀，真空度高
★ 精密小巧，易于搬運(yùn)
用途：
探針臺(tái)測(cè)試儀，用于芯片，氣敏元器件等在不同氣氛環(huán)境下電學(xué)性能，也可用于材料分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電學(xué)性能測(cè)試、物理研究，氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽(yáng)能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)等系統(tǒng)中的重要部件。
產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)：
項(xiàng)目 | 訂貨代碼 | VS21-4 VS21-6 |
主體 | VS21-4 | 腔體材質(zhì)： AL6061(可定制SUS304腔體) |
VS21-6 | ||
探針組件 （單組價(jià)格） | Q2 | 氣密型同軸接口探針夾具（普通型） |
Q3 | 氣密型三軸接口探針夾具（抗干擾性強(qiáng)，應(yīng)用于半導(dǎo)體） | |
V2 | 真空型同軸接口探針夾具（普通型，需要抽真空時(shí)選擇） | |
V3 | 真空型三軸接口探針夾具（抗干擾性強(qiáng)，應(yīng)用于半導(dǎo)體，需要抽真空時(shí)選擇） | |
探針規(guī)格 | 000T | 鍍金，50μm(可選：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探針。 |
信號(hào)線(xiàn)纜 | R1 | 單頭甩空線(xiàn) |
R2 | 雙頭線(xiàn) | |
位移座 | ST | XYZ三軸位移尺寸(X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm） |
高低溫控制系統(tǒng) | H | 高溫控制器:常溫～450℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃（進(jìn)口溫控） |
L | 低溫控制器:-194℃～0℃，控制精度±0.25℃ | |
真空系統(tǒng) | MP | 機(jī)械泵（飛躍）:2.2L/S(真空度1*10-1Pa)（不包含真空計(jì)） |
TP | 分子泵組（Leybold）:90L/S(真空度5*10-5Pa) 復(fù)合真空計(jì)（Leybold ):PTR90(大氣至5*10-7Pa)主體需要采用 不銹鋼材質(zhì)，才能抽到高真空 | |
顯微鏡 | PM | 體式顯微鏡:ZOOM645S（環(huán)形光源） |
CM | CCD：200萬(wàn)像素 | |
DP | 戴爾顯示器：21寸 | |
SJ | 視頻顯微鏡+10寸顯示屏（100萬(wàn)像素） | |
附件 | D20 | 液氮杜瓦罐:20L（溫度控制在-196℃-室溫可控） |
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