日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀
- 公司名稱 成都藤田科技有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/2/22 10:41:21
- 訪問次數(shù) 28
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
OPTM series 嵌入型
產(chǎn)品信息
特 點
● 膜厚測量范圍1nm~92μm(換算為SiO2)
● 膜厚值高重復(fù)精度
● 1點1秒以內(nèi)的高速測量
● 最小小點Φ3μm)中瞄準(zhǔn)模式
● 適合圖案晶片的膜厚映射
● 能夠取得圖案對準(zhǔn)用圖像
裝置組裝示意圖
測量數(shù)據(jù)示意圖
測量光點周邊圖像
適應(yīng)過程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝等
產(chǎn)品規(guī)格
核心對比與OPTM優(yōu)勢:
技術(shù)差異化:
OPTM系列:基于分光干涉法,結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng),實現(xiàn)反射率分析,支持超薄膜(1nm)與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu),技術(shù)解決透明基板干擾。
Smart膜厚儀:側(cè)重便攜性與快速篩查,適用于常規(guī)單層膜厚測量,但精度與功能擴展性不及OPTM系列。
應(yīng)用場景:
OPTM適用于研發(fā)(R&D)與高精度QC,如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片;Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢。
性價比優(yōu)勢:OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度,且操作門檻更低,軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯,確保數(shù)據(jù)可靠性。
微區(qū)測量能力:最小光斑直徑3μm,搭配自動XY平臺(200×200mm),實現(xiàn)晶圓、FPD(如OLED、ITO膜)等
微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。
跨行業(yè)適用性:專為半導(dǎo)體(SiO?/SiN膜)、顯示面板(彩色光阻)、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計,支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。
安全與擴展性:區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機制,獨立測量頭支持定制化嵌入,滿足在線檢測(inline)與實驗室研發(fā)需求。
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供