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D512MG/D522MG HORIBA堀場(chǎng)全新壓差式質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱(chēng) 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場(chǎng)
- 型號(hào) D512MG/D522MG
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2025/2/19 11:24:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 28
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,電氣,綜合 |
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HORIBA堀場(chǎng)全新壓差式質(zhì)量流量控制器
HORIBA堀場(chǎng)全新壓差式質(zhì)量流量控制器
壓差式質(zhì)量流量控制器 D500
壓差式質(zhì)量流量控制器
這款技術(shù)先進(jìn)的壓差式質(zhì)量流量控制器具備壓差檢測(cè)功能和壓電驅(qū)動(dòng)閥。
高性能 CRITERION D500 適用于一系列先進(jìn)的半導(dǎo)體制程，具有壓力補(bǔ)償，多量程/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn)）自診斷功能，高精度、快速響應(yīng)、寬量程、全金屬等特點(diǎn)。
壓力不敏感性能
高性能壓力補(bǔ)償新功能簡(jiǎn)化了供氣系統(tǒng)多量程、多氣體、多壓力解決方案
新功能允許用戶(hù)改變氣體類(lèi)型、滿(mǎn)量程流量和供壓范圍G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn)）自診斷功能
先進(jìn)的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測(cè)試，即使提高通過(guò)量，通常也能在三秒或更短的時(shí)間內(nèi)完成測(cè)試。高精度
先進(jìn)的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度快速響應(yīng)
響應(yīng)時(shí)間：< 0.8 秒
可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制動(dòng)態(tài)范圍
控制范圍廣：0.2% 滿(mǎn)量程 至 100% 滿(mǎn)量程
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