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Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)
- 公司名稱 上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場(chǎng)
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/15 14:47:59
- 訪問(wèn)次數(shù) 93
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氣體質(zhì)量流量計(jì),熱式質(zhì)量流量計(jì),熱式質(zhì)量流量控制器,液體質(zhì)量流量計(jì),液體質(zhì)量流量控制器,壓力調(diào)節(jié)閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機(jī)
價(jià)格區(qū)間 | 2萬(wàn)-5萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
---|---|---|---|
液體 | 可用于不銹鋼材質(zhì)的液體 | 載氣 | Ar、N2 |
汽化能力 | 汽化能力20g/min(TEOS) |
Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)
液體混合注入,汽化能力20g/min(TEOS)
HORIBA 是半導(dǎo)體行業(yè)高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制程,可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點(diǎn)。無(wú)論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化,HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng)。包括:汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。
暢銷(xiāo)型號(hào):VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.
MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法,即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定汽化,實(shí)現(xiàn)流量計(jì)的流量測(cè)量功能。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。
Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)可通過(guò)使用氣液混合物汽化方法快速汽化各種液體源。該方法可實(shí)現(xiàn)高沸點(diǎn)液體的穩(wěn)定汽化。
· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點(diǎn)液體
· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃
· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃
· 汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法
· 產(chǎn)生更大流量
· 汽化溫度降低
測(cè)量技術(shù) 注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 載氣和液體在控制閥中混合。
2. 液體在蒸發(fā)區(qū)瞬間汽化。
3. 氣體被釋放,防止凝結(jié)成液態(tài)。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | MV-2000 |
液體名稱 | 除腐蝕不銹鋼的液體外(如. HCl, HF) |
汽化能力(參考) | 20g/min (TEOS) 2g/min (H2O) |
耐溫 | 混合閥部分 : Max140℃ 汽化部分:Max200℃ |
泄露率 | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) |
接液材質(zhì) | SUS316L , PFA |
溫度探頭 | K型熱電偶 |
耐壓 | 1MPa (G) |
標(biāo)準(zhǔn)接口 | 液體入口: 1/8 VCR公頭; 載氣入口:1/4 VCR母頭; 氣體出口: 1/2 VCR公頭 |
環(huán)境溫度 | 15 - 50 ?C |
可選項(xiàng) | 氣體閥(內(nèi)漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) ) |