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Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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我公司代理進(jìn)口品牌多年,有兩大業(yè)務(wù):horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。暢銷(xiāo)的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國(guó)內(nèi)組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50、LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計(jì)IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計(jì)SF/VP系列,真空計(jì)VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國(guó)dwyer、美國(guó)Omega、日本Horiba。美國(guó)dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國(guó)*的儀器儀表生產(chǎn)商,有多個(gè)自主品牌:MagnehelicFlotect、MercoidLove,主要產(chǎn)品有:差壓表2000-250Pa、負(fù)壓表2000-500Pa2000-60pa2000-25MBAR、2000-3KPA2000-1000PA;數(shù)顯變送器MS-111、MS111LCDMS121LCD、MS311LCDMS141LCD;防爆差壓開(kāi)關(guān)1950-1-2F、1950-5-2F、1950-20-2F、1950G-1-2F-241950-0-2F;flotect流量開(kāi)關(guān)V4-2-UV6EPBBS1BAT、V6EPBBS3BAT、V6EPBBSLFflotect液位開(kāi)關(guān)L6EPBBS3CCSA;風(fēng)速變送器641-6-LED641-12-LED、641RM-12-LED;轉(zhuǎn)子流量計(jì)RMB-11-SSV-APFRMA-13-SSV-APF、RMA-25-SSV-APF、RMA-150-SSV-APFRMB-51D-SSV-BPF、RMB-57D-SSV-BPF、RMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV;高低壓報(bào)警開(kāi)關(guān)A3000-1KPA-240VAC、A3000-750PA-240VAC3000MR-500PA、3000MR-60PA、3000MR25MM;防爆差壓開(kāi)關(guān)AT23000MRAT21910、AT21823、AT2MS、AT21640AT11910、AT1ADPS。

另有美國(guó)Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計(jì)等;韓國(guó)TK,SUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體,太陽(yáng)能,暖通,空調(diào),食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環(huán)境監(jiān)測(cè),工業(yè)制造和實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。



氣體質(zhì)量流量計(jì),熱式質(zhì)量流量計(jì),熱式質(zhì)量流量控制器,液體質(zhì)量流量計(jì),液體質(zhì)量流量控制器,壓力調(diào)節(jié)閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機(jī)

價(jià)格區(qū)間 2萬(wàn)-5萬(wàn) 應(yīng)用領(lǐng)域 電子
液體 可用于不銹鋼材質(zhì)的液體 載氣 Ar、N2
汽化能力 汽化能力20g/min(TEOS)

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)

液體混合注入,汽化能力20g/min(TEOS)


HORIBA 是半導(dǎo)體行業(yè)高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制程,可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點(diǎn)。無(wú)論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化,HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng)。包括:汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。

暢銷(xiāo)型號(hào):VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.


MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法,即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定汽化,實(shí)現(xiàn)流量計(jì)的流量測(cè)量功能。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)可通過(guò)使用氣液混合物汽化方法快速汽化各種液體源。該方法可實(shí)現(xiàn)高沸點(diǎn)液體的穩(wěn)定汽化。

· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點(diǎn)液體

· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃

· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃

· 汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法

· 產(chǎn)生更大流量

· 汽化溫度降低

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計(jì)


測(cè)量技術(shù) 注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 載氣和液體在控制閥中混合
2. 液體在蒸發(fā)區(qū)瞬間汽化。
3. 氣體被釋放,防止凝結(jié)成液態(tài)。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

MV-2000

液體名稱

除腐蝕不銹鋼的液體外(如. HCl, HF)

汽化能力(參考)

20g/min (TEOS) 2g/min (H2O)

耐溫

混合閥部分 : Max140℃  汽化部分:Max200℃

泄露率

≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)

接液材質(zhì)

SUS316L , PFA

溫度探頭

K型熱電偶

耐壓

1MPa (G)

標(biāo)準(zhǔn)接口

液體入口: 1/8 VCR公頭;  載氣入口:1/4 VCR母頭;

 氣體出口: 1/2 VCR公頭

環(huán)境溫度

15 - 50 ?C

可選項(xiàng)

氣體閥(內(nèi)漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )



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