化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>KW-4S 賽德凱斯4S勻膠機(jī)半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
勻膠機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),提拉鍍膜機(jī),等離子清洗機(jī),磁控濺射儀,狹縫式涂布機(jī),自動(dòng)涂膜機(jī),烤膠機(jī),
1.基片尺寸:5-50mm(需要聯(lián)系客服了解基片尺寸)
2.轉(zhuǎn)速范圍:50-10000RPM
3.加速度范圍:10-10000RPM/S,可調(diào)
4.電機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1RPM
5.旋涂均勻度:±1%
6.升溫范圍:室溫-200℃
7.人機(jī)界面:4.3寸觸摸屏
8.通訊接口:可連接無線鼠標(biāo)鍵盤:機(jī)器可放在手套箱內(nèi),在手套箱外遙控操作
9.調(diào)轉(zhuǎn):支持正反轉(zhuǎn)
10.手寫筆:Stylus BAMBOO電阻筆(標(biāo)配)
11.真空泵:SC-550V
12.設(shè)置數(shù)據(jù):無限組數(shù)據(jù),每組10個(gè)速度(標(biāo)配)
13.每周期秒數(shù):0-10000s
14.存儲(chǔ)數(shù)據(jù):數(shù)據(jù)不限
15.數(shù)據(jù)保護(hù):默認(rèn)帶掉電保護(hù)
16.工作電壓(旋涂機(jī)):AC100-250V,單相,50/60Hz
17.工作電壓(泵):AC220V(標(biāo)準(zhǔn))AC110V(選配)
18.抽氣速度:≥60L/MIN
19.真空度可達(dá):-85KPA
20.噪音等級(jí):≤55db
21.旋涂機(jī)功率:200W
22.泵功率:350W
23.尺寸(旋涂機(jī)):210mm(寬)X220mm(深)X160mm(高)
24.重量(旋涂機(jī)):10KG
25.重量(泵):9KG
26.相對濕度:<85%
27.環(huán)境溫度:0-40℃
28.保修:1 年
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