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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 安徽科冪儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/1/17 21:42:49
  • 訪問次數(shù) 97

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安徽科冪儀器有限公司(Anhui Kemi Instrument Co.,LTD.)成立于2014年,總部設(shè)在安徽省合肥市,擁有近萬平方米的研發(fā)制造基地。公司持有A2級中國特種設(shè)備(壓力容器制造)生產(chǎn)資格許可證,是一家專注于科研儀器設(shè)備和中小試及產(chǎn)業(yè)化合成反應(yīng)裝備研發(fā)、制造的國家高新技術(shù)企業(yè)。

科冪儀器依托中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)等雄厚的科研力量,研制了多款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的合成反應(yīng)設(shè)備。技術(shù)驅(qū)動、方案營銷,專注于非標(biāo)方案的設(shè)計(jì)和多維立體化服務(wù)。產(chǎn)品已成功進(jìn)駐國內(nèi)所有985、211高校實(shí)驗(yàn)室及新材料、新能源、生物制藥、生態(tài)環(huán)境等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)頭部企業(yè),并遠(yuǎn)銷歐美、澳洲、中東等地,覆蓋國內(nèi)外科研及企業(yè)客戶20000余家,助推研發(fā)應(yīng)用4000余項(xiàng),助力用戶發(fā)表SCI(一區(qū))論文900余篇。


高壓反應(yīng)釜,管式爐,馬弗爐,固定床反應(yīng)裝置,光催化反應(yīng)裝置,其他定制設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn)

高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);

可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低。

 

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目 型號 TFE - 1200 - 50 - 220
溫度 1150℃(短期)
額定溫度 1100℃
推薦升溫速率 ≤10℃/min
控制精度 ±1℃
爐管尺寸 Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸 Φ80*220mm
加熱區(qū)長度 220mm
恒溫區(qū)長度 80mm
加熱元件 優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲
額定功率 3KW
供氣系統(tǒng)

三路高精度MFC

量程0-500sccm(可定制)

射頻電源

射頻功:5-500W;

射頻頻:13.56MHz;

匹配方式:自動匹配

真空系統(tǒng) 雙級旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)
外形尺寸 1250*510*810mm

 



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