FPSUR-PLD 脈沖激光沉積系統(tǒng)工作站
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 孚光精儀
- 型號 FPSUR-PLD
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/pld.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/12/20 14:44:24
- 訪問次數(shù) 113
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脈沖激光沉淀系統(tǒng)工作站PLD是氧化還原系統(tǒng),脈沖激光沉積(PLD)是一種用于薄膜沉積的多用途工藝,其主要*點是將化學(xué)計量的材料從靶轉(zhuǎn)移到襯底。
SURFACE PLD工作站是一個*秀的薄膜原型制作和研究系統(tǒng),可方便地獲取新材料,尤其是高級氧化物層。
PLD脈沖激光沉積工作站將PLD系統(tǒng)的所有組件(包括激光和激光氣體供應(yīng))集成到一個機架中。緊湊的設(shè)計能夠***靈活地使用系統(tǒng),并避免了許多硬件安裝工作。所有這些都是的多功能性的關(guān)鍵,即使對于沒有PLD技術(shù)經(jīng)驗的用戶,也可以使用脈沖激光沉積PLD!
脈沖激光沉積PLD工作站以強大而緊湊的封裝提供**的沉積技術(shù),適用于廣泛的應(yīng)用。盡管具有所有內(nèi)置的靈活性,但安全始終是*先事項:
封閉的激光束線,帶有外部驅(qū)動的反射鏡調(diào)節(jié),可安全地防止暴露于紫外線激光輻射
激光器和激光器氣體柜到外部排氣管
脈沖激光沉淀系統(tǒng)工作站真空室:靈活性良*
工作站視口真空室是為研究而設(shè)計的。它具有適用于***常見的現(xiàn)場分析工具或其他系統(tǒng)擴展的備用法蘭:
光學(xué)分析方法:OES或FTIR
RHEED
質(zhì)譜儀器
額外的沉積或等離子源
此外,兩個窗口允許從兩個不同的角度和兩側(cè)對過程進(jìn)行視覺接觸。大前門可進(jìn)入主要工藝部件:靶材和基板操縱器。標(biāo)準(zhǔn)配置提供2“基板加熱器和4×2”分度目標(biāo)操縱器??蛇x1“基板加熱器和激光加熱器。
為了調(diào)節(jié)工藝條件,標(biāo)準(zhǔn)配置了兩個用于將工藝氣體供應(yīng)至腔室的質(zhì)量流量控制器通道。它們能夠自動控制工藝氣氛和壓力。
通過結(jié)合控制軟件設(shè)計目標(biāo)操縱器,避免了目標(biāo)表面上的錐體形成,并保證了目標(biāo)的均勻磨損。激光束將以兩個不同的入射角照射目標(biāo)的每個點,因此無法形成影響燒蝕材料化學(xué)計量的錐體。
為了實現(xiàn)均勻的目標(biāo)磨損,沉積過程中有兩種不同的目標(biāo)運動模式:
搖擺:目標(biāo)轉(zhuǎn)盤以連續(xù)運動的方式來回移動,以便激光束在距離目標(biāo)中心任意半徑處擊中目標(biāo)。該模式易于設(shè)置,只需知道目標(biāo)直徑。
掃描:移動目標(biāo)轉(zhuǎn)盤,使激光束在目標(biāo)上“寫入”定義的軌跡。調(diào)整目標(biāo)旋轉(zhuǎn)速度和軌道間距以匹配激光光斑大小和重復(fù)率。這實現(xiàn)了目標(biāo)表面的非常均勻的磨損。