規(guī)格說明

粒子量測范圍：0.1um - 5um

通道：0.1、0.2、0.3、1.0、3.0、5.0um

傳感器：雷射二極管

顯示屏幕：7 英寸 WVGA，觸控屏幕，帶有縮放功能

數據輸出：USB 端口、以太網絡、WiFi (選配)

語言：英文、中文、日文、韓文

尺寸和重量：寬12英寸X 深12英寸X 高9英寸，26.5 磅

輸入電源：100-240 VAC，50/60 赫茲

電池：2顆 鋰電池，可熱插入

美國Pentagon Technologies ST表面塵埃粒子理化分析儀是當今行業(yè)標準的測量工具及過程控制表面顆粒污染解決方案專家.

更加有效管控表面粒子在0.1 um范圍成為了至關重要的產量良率及過程控制測量的重要指標。

Pentagon Technologies針對從submicron至deep submicron (0.18, 0.13..) 的Production機臺, 建立了特別的PM procedure可降低50% Test Wafer的消耗量及增加OEF(Overall Equipment Effectiveness), 其應用于各種Thin Film( PVD, CVD..), Etching and Diffusion Equipments. 以及工作臺面積臺表面潔凈度等的驗證.

Pentagon Technologies 亦針對Fab整體的contamination可提供詳細的偵測及評估進而提高OFE (Overall Fab Effectiveness), 這可提供QA人員非常advanced的幫助。

適合使用單位:

•適合客戶群: 半導體黃光, 蝕刻制程, 零件清洗商,設備清潔維護, 光電廠, 玻璃基板廠等

•適合單位 : PVD, CVD, Photo, Ion Plant, YE, QA, QC ,  Microntation , Etch, Diffusion.