化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備>RISETM-300 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
RISETM-300 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 RISETM-300
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/25 14:41:19
- 訪問次數(shù) 144
聯(lián)系方式：吳曉雨19270095986 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體間自然氧化蝕刻設(shè)備
間歇式自然氧化膜去除設(shè)備 RISETM-300
間歇式自然氧化膜去除設(shè)備RISE TM -300是一種間歇式預(yù)清洗設(shè)備，可以去除LSI深接觸底部等難處理的自然氧化膜。兼容300mm目標(biāo)晶圓。
特征
實現(xiàn)高吞吐量和低 CoO
良好的蝕刻均勻性（< ±5%/批次）和再現(xiàn)性
干法
無損壞（遠程等離子體和低溫工藝）
與傳統(tǒng)濕法工藝相比，自對準(zhǔn)接觸電阻降低至 1/2
設(shè)備布局靈活
強調(diào)可維護性
50 300mm晶圓批量加工
目的
用于形成自對準(zhǔn)觸點的預(yù)處理
電容器形成過程中的預(yù)處理
外延生長過程中的預(yù)處理
規(guī)格
| 模型 | RISETM-300 | |
| 等離子源 | 微波電源 | |
| 設(shè)備配置 | EFEM + LL + PM | |
| 板尺寸 | Φ300mm | |
| 板臺 | 陶瓷舟（50只/批） | |
| 排氣系統(tǒng) | 機械增壓泵+DRP | |
| 控制系統(tǒng) | FAPC+TFT觸摸屏 | |
| 氣體導(dǎo)入系統(tǒng) | 3個系統(tǒng) | |
| 應(yīng)用 | SAC、電容器和外延生長過程中的預(yù)處理 | |
特別提示：商品詳情頁中（含主圖）以文字或者圖片形式標(biāo)注的搶購價等價格可能是在特定活動時段下的價格，商品的具體價格以訂單結(jié)算頁價格為準(zhǔn)或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達成的實際成交價格為準(zhǔn)；如您發(fā)現(xiàn)活動商品價格或活動信息有異常，建議購買前先咨詢商家。
采購中心
化工儀器網(wǎng)