SCS Labcoter 2 Parylene PDS 2010沉積系統(tǒng)，對于 Parylene 的實(shí)驗(yàn)室研究、應(yīng)用開發(fā)和測試而言，SCS Labcoter 2 Parylene 沉積系統(tǒng)(PDS 2010) 為 SCS Parylene 保形涂敷提供了可靠的和可重復(fù)的應(yīng)用。便攜的 Labcoter2 可以針對電路板、傳感器、晶圓、醫(yī)療器件、MEMS 和彈性元件的研究、開發(fā)及維修進(jìn)行 Parylene 涂敷。

SCS Labcoter 2 Parylene PDS 2010沉積系統(tǒng)Labcoter® 2 性能

? 模塊化結(jié)構(gòu)

? 可更換腔體模組

? 可選擇液氮或機(jī)械制冷機(jī)

? 閉環(huán)單體壓力控制

? 持續(xù)過程監(jiān)控

? 低噪音，直接驅(qū)動真空泵

? 固定旋轉(zhuǎn)架

? 可選翻轉(zhuǎn)涂敷操作

? 可選分離真空泵

Parylene 沉積過程超薄的 Parylene 涂層具有惰性和生物兼容性以及很好的防潮、防化和電介質(zhì)絕緣的特性。Parylene 多聚物涂敷通過氣態(tài)沉積設(shè)備實(shí)現(xiàn)，允許對涂敷率和厚度做精確的控制。沉積過程首先是粉末狀的二聚物在真空和加熱下蒸發(fā)成二聚物氣體，隨后二聚物被裂解成其單體結(jié)構(gòu)，最終沉積成為透明的聚合物薄膜。聚合過程在室溫下發(fā)生并且不會引入溶液、催化劑或者固化應(yīng)力。Parylene 涂層的厚度可以從幾百埃到 75 微米。