電子特氣管道系統(tǒng)，簡稱特氣系統(tǒng)由存儲、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲”是指氣源部分（特氣柜GC），“輸送”指配管方面（一般用雙套管），“分配”指二次配部分（氣體分配柜VMB），“控制”指監(jiān)督控制部分（氣體管理系統(tǒng)GMS）。是一種廣泛應用于半導體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。

全自動GC（特氣柜）按功能設計可分為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

單鋼的設計通常使用于研究機構(gòu)或?qū)嶒炇业取９に囍瞥躺形从辛慨a(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場可隨時協(xié)調(diào)停機進行鋼瓶之更換，其優(yōu)點節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。

雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，工藝制程不允許停機情況，當一支鋼瓶使用完后，另一支備用鋼瓶會自動轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在吹掃管路的高純氮氣是以鋼瓶或廠務端供應，當吹掃用的高純氮氣統(tǒng)一由廠務端來供應時，所有特殊氣體供應系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個供應源，會有較高的風險值；萬一中央供應系統(tǒng)的高純氮氣中斷，警報系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用吹掃，此時極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來吹掃增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應變方式。

氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置；不相容氣體瓶不應放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；氣瓶柜、氣瓶架應設置作業(yè)用氣體面板；系統(tǒng)的供應能力應經(jīng)過熱力學和流體力學計算核實；氣瓶柜閉門時應保持不低于100Pa負壓，柜內(nèi)的排風換氣次數(shù)不得低于300次/h;自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應在排風出口設置固定式氣體泄漏探測器；氣瓶柜柜體 外殼鋼板厚度不應小于2.5mm， 并應有防腐蝕涂層；氣瓶柜門應具備自動關閉功能， 并應配備防爆玻璃觀察窗；氣瓶柜的固定螺栓設計應滿足當?shù)氐卣鹪O防烈度的要求；氣瓶柜、氣瓶架應設置清晰明確的安全標識牌；當氣瓶柜放置在有爆炸和火災危險環(huán)境時，其設計應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定。

是專為腐性，毒性等危險性氣體供應而設計的供應系統(tǒng)，主材選用SS316L，基本功能包括自動吹掃，自動切換，以及自動切斷（當設定報警信號被觸發(fā)時）。在制造業(yè)的范疇內(nèi)，特別是涉及到半導體與高精度化學制品的領域，特種氣體（特氣）扮演著至關重要的基礎材料角色。確保這些氣體穩(wěn)定、安全地供給到生產(chǎn)線，是維持高效生產(chǎn)的關鍵。特氣管道工程是一種危險性很高的工程，是保證有著易燃易爆、腐蝕、劇毒等性質(zhì)的特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的氣體供應系統(tǒng)，所以，為了用氣安全，在安裝特氣系統(tǒng)時，要嚴格遵守其中的一些規(guī)定標準。