TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水機(jī)維修

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Semiconductor Chiller）主要用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中精確控制反應(yīng)室的溫度。 它是一種自平衡循環(huán)裝置，主要由換熱器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)組成。 屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。

TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水機(jī)維修

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)與工藝?yán)鋮s水的熱交換原理，高精度控制半導(dǎo)體工藝設(shè)備所用循環(huán)液的溫度、流量和壓力，以達(dá)到半導(dǎo)體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備。根據(jù)不同工藝的要求，控制給定溫度的循環(huán)液流過(guò)半導(dǎo)體工藝設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)的電極或壁，將熱量帶入半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備，從而傳遞熱量通過(guò)熱交換器進(jìn)行制冷。制冷劑，再通過(guò)制冷劑將熱量釋放給工藝?yán)鋮s水，從而實(shí)現(xiàn)工藝過(guò)程的溫度控制。

2023年半導(dǎo)體專用溫控裝置市場(chǎng)規(guī)模約46.9億元，2019-2023年年復(fù)合增長(zhǎng)率CAGR約為 %，預(yù)計(jì)未來(lái)將持續(xù)保持平穩(wěn)增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)，到2030年市場(chǎng)規(guī)模將接近70.2億元，未來(lái)六年CAGR為6.0%。

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)與工藝?yán)鋮s水的熱交換原理，高精度控制半導(dǎo)體工藝設(shè)備所用循環(huán)液的溫度、流量和壓力，以達(dá)到半導(dǎo)體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備。根據(jù)不同工藝的要求，控制給定溫度的循環(huán)液流過(guò)半導(dǎo)體工藝設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)的電極或壁，將熱量帶入半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備，從而傳遞熱量通過(guò)熱交換器進(jìn)行制冷。制冷劑，再通過(guò)制冷劑將熱量釋放給工藝?yán)鋮s水，從而實(shí)現(xiàn)工藝過(guò)程的溫度控制。

可維修D240 ，AQA-K09，P-12XL探針臺(tái)冰水機(jī)

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備利用制冷循環(huán)與工藝?yán)鋮s水的熱交換原理，高精度控制半導(dǎo)體工藝設(shè)備所用循環(huán)液的溫度、流量和壓力，以達(dá)到半導(dǎo)體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備。根據(jù)不同工藝的要求，控制給定溫度的循環(huán)液流過(guò)半導(dǎo)體工藝設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)的電極或壁，將熱量帶入半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備，從而傳遞熱量通過(guò)熱交換器進(jìn)行制冷。制冷劑，再通過(guò)制冷劑將熱量釋放給工藝?yán)鋮s水，從而實(shí)現(xiàn)工藝過(guò)程的溫度控制。