英國WEST靜電力顯微鏡EFM高分辨率ESVM系統(tǒng) WEST/英國 1100TN型 特點(diǎn)介紹

這是一種掃描探針顯微鏡型表面電位分布測量系統(tǒng)，具有尺寸為 5μm x 5μm 的懸臂。

可以測量傳統(tǒng)表面靜電計無法測量的約10μm的極精細(xì)表面電位分布，并且可以掃描約數(shù)mm的極寬區(qū)域。

可以以 0.5% 的高精度測量 ±1000V 的電壓。

英國WEST靜電力顯微鏡EFM高分辨率ESVM系統(tǒng) WEST/英國 1100TN型 規(guī)格參數(shù)

空間分辨率： 10um以下 

懸臂尖： 5x5um2 

測量電壓范圍： ±1000V（最大±2000V） 

測量電壓精度： 0.5%滿量程 

測量電壓靈敏度： 最大20mV以下 

測量速度： 最大 30 毫秒/圖 

掃描范圍： 最大5x5mm2 

掃描步長： 最小1um 

測量模式： 定點(diǎn)、線、3D 

先端寸法5μmx5μmのカンチレバーを有した走査型プローブ顕微鏡タイプの表面電位分布計測システムです。

測定器外観今までの表面電位計では測定出來なかった非常に細(xì)かい10μm程度の表面電位分布を測定する事が出來、數(shù)mm程度の非常に広いエリアの走査が可能です。

±1000Vの電圧を0.5%の高精度で測定する事が出來ます。