HORIBA堀場(chǎng) 濃度監(jiān)測(cè)儀  pH計(jì)  流量計(jì)  CS-131C-22-W2P

CS-131是半導(dǎo)體制造清洗過(guò)程中使用的SC-1溶液的高精度化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀，實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)和緊湊性。持續(xù)監(jiān)測(cè)用于去除顆粒和有機(jī)物的SC-1溶液（NH 3 /H 2 O 2 /H 2 O）的每種成分的濃度。通過(guò)使用監(jiān)視器輸出進(jìn)行反饋控制，可以將SC-1溶液的濃度維持在可接受的范圍內(nèi)并消除不必要的化學(xué)交換。我們還有一個(gè)集成冷卻器型號(hào)，支持較寬的樣品溫度范圍

HORIBA堀場(chǎng) 濃度監(jiān)測(cè)儀  pH計(jì)  流量計(jì)  CS-131C-22-W2P

支持 300mm 工藝中的濃度管理，測(cè)量周期約為 2 秒 (*)

實(shí)現(xiàn)了約2秒的短測(cè)量周期(*)的高速響應(yīng)。我們支持多槽和單槽清潔設(shè)備的詳細(xì)濃度控制。（*不包括化學(xué)品更換時(shí)間或冷卻時(shí)間）

緊湊的設(shè)計(jì)有助于節(jié)省清潔設(shè)備的空間。

與傳統(tǒng)型號(hào)相比，緊湊的設(shè)計(jì)可減少約 2/3 (*) 的占地面積，有助于節(jié)省清潔設(shè)備的空間?？奢p松集成到清潔設(shè)備中。

(*與本公司產(chǎn)品CS-220系列比較)

通過(guò)減少清潔過(guò)程中的批次缺陷來(lái)提高產(chǎn)量

通過(guò)使用監(jiān)視器輸出控制 SC-1 溶液的補(bǔ)充，實(shí)現(xiàn)了高度可重復(fù)的清潔。這減少了清潔過(guò)程中的批次缺陷并有助于提高產(chǎn)量。

全自動(dòng)測(cè)量，輕松管理

。用戶只需引入SC-1解決方案。測(cè)量是全自動(dòng)的，因此測(cè)量開始后無(wú)需控制。此外，參考光譜測(cè)量使用空氣，因此不需要水作為公用設(shè)施。

通過(guò)消除氣泡措施，可以測(cè)量高溫樣品。氣泡

在脫氣罐中分離，測(cè)量過(guò)程中使用電磁閥最大限度地減少氣泡進(jìn)入流通池。此外，如果集成了冷卻器，高溫樣本可以直接傳遞到監(jiān)測(cè)儀。

采用24V DC，安全性高

采用低壓24V DC供電，進(jìn)一步提高了防觸電安全性。此外，內(nèi)置漏水傳感器可實(shí)現(xiàn)緊急響應(yīng)，例如在漏水時(shí)切斷 SC-1 溶液的供應(yīng)