SUPEC 2050半導體AMC綜合監(jiān)測系統(tǒng)由采樣預處理子系統(tǒng)、氣體監(jiān)測子系統(tǒng)以及輔助設備和數據采集與處理子系統(tǒng)等構成：

采樣預處理子系統(tǒng)：由多路樣氣傳輸管、采樣泵和分布式多通道采樣儀組成，可以對多個點位進行不間斷實時采樣，并通過管路切換實現不同采樣點樣氣的循環(huán)監(jiān)測。

氣體監(jiān)測子系統(tǒng)：由多個分析儀組成，可以根據不同的監(jiān)測需求進行定制化的搭配，實現不同物質的在線監(jiān)測。

輔助系統(tǒng)：由集成機柜和校準單元組成，可以保證整套系統(tǒng)的正常運行，校準單元可以定期對系統(tǒng)進行校準，保證監(jiān)測數據的穩(wěn)定和準確。

數據采集與處理子系統(tǒng)：可以監(jiān)控查詢所有測量信息和系統(tǒng)工作狀態(tài)信息，并將監(jiān)測數據傳輸至企業(yè)的中控平臺。

性能優(yōu)勢

采樣覆蓋面廣

多點位同時采樣，覆蓋面廣，成本低，可支持200m點位監(jiān)測，多點位形成網格化分析體系。

輪巡速度快

系統(tǒng)具備預抽功能，節(jié)約管路傳輸等待時間。

自由配置通道數量

系統(tǒng)可擴展，可自由配置采樣點位數量。

樣品間干擾小

具備反吹功能.確保各路樣品互不影響，低殘留。

樣品超標留樣

可搭配超標留樣，系統(tǒng)可搭配蘇瑪罐留樣系統(tǒng)，當點位污染超標時自動留樣。

應用領域

半導體行業(yè)檢測