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MSK-PSP-LSD4040 雙光路激光刻蝕機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
  • 品牌 深圳科晶
  • 型號(hào) MSK-PSP-LSD4040
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/2/18 14:00:20
  • 訪問次數(shù) 434
產(chǎn)品標(biāo)簽

科晶刻蝕機(jī)激光

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    深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺(tái),為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。
    深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。


    深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲(chǔ)和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。


    公司2008年開始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測試與評(píng)估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級(jí)電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。
    主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列
    •  材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等);
    •  電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級(jí)電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案);
    •  電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等);
    •  鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案);
    •  燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案);
    •  鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備;
    •  功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等);
    •  高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測試表征等);
   

公司設(shè)立了開放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對于鋰電池行業(yè),可實(shí)現(xiàn)公斤級(jí)別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。


    深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識(shí)產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)(包含PCT和國內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個(gè)行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)可。


    本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個(gè)高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時(shí),深圳科晶設(shè)立了對外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺(tái),承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗(yàn),配備行業(yè)資深的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時(shí)間。該實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。

材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,而*實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障??凭F(tuán)隊(duì)將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠信為基,積極創(chuàng)新”的運(yùn)營理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(扣式電池,軟包電池,圓柱電池)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,綜合
MSK-PSP-LSD4040 雙光路激光刻蝕機(jī)廣泛應(yīng)用于剛性或柔性基材的薄膜類電池激光刻蝕,包括鈣鈦礦、有機(jī)電池OPV、碲化鎘類薄膜太陽能電池刻蝕劃線等領(lǐng)域。
雙光路激光刻蝕機(jī)功能特點(diǎn)
  • 選擇性刻蝕太陽能器件(鈣鈦礦電池/OPV/碲化鎘)的不同功能層來完成太陽能組件的制備,能有效的有選擇性的在不同基底(包括剛性和柔性)去除TCO、吸收層、背電極層。P1 TCO+吸收層/P2 吸收層/P3 背電極+吸收層采用皮秒綠光或皮秒紫外激光刻蝕;P4 采用納秒紅外激光刻蝕清邊;

    雙光路激光刻蝕機(jī)
  • 最大基片尺寸400mm*400mm(可定制其他尺寸);

  • 死區(qū)面積最小寬度150μm(激光可實(shí)現(xiàn)最小值小于100μm,考慮功能性最小值150μm);

  • 能有效控制激光在操作過程中對已有材料的熱影響、火山口、缺陷控制;

  • 兼容基板厚度0.01-40mm;

  • 直線度小于±3μm/300mm;

  • 同款機(jī)器具備P0打標(biāo)功能,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)跳號(hào),可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)跳號(hào)。P2.5激光分區(qū),P3.5激光打點(diǎn),P4.5邊緣劃線;

  • 設(shè)備采用雙光路設(shè)計(jì),P2&P3層采用皮秒綠光或皮秒紫外激光器,P1&P4層采用納秒紅外激光器,P1也可以用皮秒綠光或皮秒紫外激光器;

  • 適合對導(dǎo)電玻璃、薄膜進(jìn)行精細(xì)激光刻蝕;

  • 采用自主研發(fā)的控制軟件,直接導(dǎo)入CAD數(shù)據(jù),CCD相機(jī)定位自動(dòng)激光刻蝕,操作簡單,方便快捷;

  • 采用通過軟件實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)振鏡與直線電機(jī)、電動(dòng)升降工作臺(tái)的設(shè)計(jì),加上真空吸附托盤裝置,能有效地解決激光刻蝕加工運(yùn)行中的平穩(wěn)性。

技術(shù)參數(shù)
電源單相AC220V±10%,頻率:50Hz,總功率約3KW
氣源干燥壓縮空氣,流量450m3/h
皮秒光學(xué)系統(tǒng)激光器皮秒綠光/紫外激光器(整個(gè)外光路密封)
激光器功率約15W
波長532nm/355nm
激光器頻率調(diào)節(jié)范圍1Hz-1MHz
激光器脈寬<15ps
激光器單脈沖能量50uj@300khz
激光器光束直徑2.5±0.5mm
光束質(zhì)量TEM00(M2<1.3)
激光器功率波動(dòng)穩(wěn)定性RNS<2% RMS over 12 hours
擴(kuò)束鏡4倍
掃描振鏡10mm通光孔經(jīng)
透鏡幅面100mm*100mm
聚焦光斑20μm
刻蝕最小線寬20μm
最小線間距≥20μm
納秒紅外光學(xué)系統(tǒng)激光器光纖傳輸MOPA納秒紅外激光器(外光路為光纖直接傳送,無需額外密封)
激光器功率30W-100W可選(根據(jù)速度要求選擇)
波長1064nm
激光器頻率調(diào)節(jié)范圍1-2000khz
激光器脈寬2-350ns可調(diào)
激光器單脈沖能量0.5mJ
激光器光束直徑8±0.5mm
光束質(zhì)量TEM00(M2<1.2)
激光器功率波動(dòng)穩(wěn)定性RNS<5%
擴(kuò)束鏡1.5倍可調(diào)
掃描振鏡10mm通光孔徑
透鏡幅面100mm*100mm
聚焦光斑30-50μm
最小線寬30μm
最小線間距≥30μm
清邊寬度0.1-20mm可調(diào)
XY直線電機(jī)直線電機(jī)垂直度±5μm/300mm
直線度±3μm
加工幅面300mm*300mm向下可兼容200mm*200mm/100mm*100mm/50mm*50mm等任意尺寸
XY最大速度1000mm/s
Z軸步進(jìn)電機(jī)行程50mm行程(可兼容0.01~40mm基材厚度)
CCD相機(jī)CCD光源白色面光源
CCD視野范圍5mm*7mm
CCD倍數(shù)0.3-1倍可調(diào)
CCD像素500萬像素
MARK定位點(diǎn)通過人工干預(yù)相機(jī)識(shí)別玻璃邊緣,并同步在P1上做對角線的2-4個(gè)定位點(diǎn),P2/P3/P4識(shí)別P1上的mark點(diǎn)定位結(jié)合圖紙自動(dòng)判定位置加工
加工平臺(tái)平臺(tái)平面度膜面入射
加工方式膜面入射
平臺(tái)基座結(jié)構(gòu)大理石平臺(tái)
平臺(tái)機(jī)械直角靠邊±0.1mm
除塵裝置除塵裝置激光加工過程中同步吹氣+吸附+抽塵功能
除塵效率二級(jí)過濾,除塵效率≥99.9%(0.1~1μm灰塵顆粒)
除塵設(shè)備噪音外接管道后1m內(nèi)噪音量≤65dB
無外接管道1m內(nèi)噪音量為75dB
(建議外接PVC光滑管道降噪)
機(jī)械硬件設(shè)備基座采用大理石加鈑金結(jié)構(gòu)件基座,1m/s加工速度條件下,整體設(shè)備平穩(wěn)無抖動(dòng)
安全防護(hù)EMO裝置所有開關(guān)按鈕均有單獨(dú)外罩保護(hù),防止誤碰觸造成機(jī)器停機(jī)功能
外光路保護(hù)整機(jī)設(shè)備外光路采用全密封設(shè)計(jì),避免直射人眼,觀察窗口配置OD5玻璃,防止激光散射對操作人員的損害,并配置防護(hù)眼鏡,避免人眼直接接觸激光,最大限度保證操作人員安全
控制系統(tǒng)軟件功能可通過軟件調(diào)整激光加工參數(shù)包括激光器頻率、功率、XY工作臺(tái)速度、振鏡速度、Z軸焦距速度、工作臺(tái)與振鏡聯(lián)動(dòng)、設(shè)備校正、線條自動(dòng)填充、圖層設(shè)置、平臺(tái)劃線功能、振鏡加工功能、加工次數(shù)、開關(guān)光延時(shí)、CCD相機(jī)mark捕捉等功能
軟件支持CCD相機(jī)識(shí)別定位點(diǎn),可通過軟件調(diào)整相機(jī)光源曝光度、光源亮度、相機(jī)倍率等條件捕捉定位mark點(diǎn),并調(diào)整清晰度,也可根據(jù)人工干預(yù)手動(dòng)查找MARK點(diǎn)或材料邊角加工
可處理文件格式標(biāo)準(zhǔn)CAD版DXF文件
外形尺寸約L1600*W1600*H1750mm(不含外掛顯示器)
重量約3T





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