Osiris勻膠機

用于處理單晶圓的系統(tǒng)，具有用于半導(dǎo)體和微系統(tǒng)技術(shù)的定制基板加工選項。

旋涂機 - CCP

設(shè)計用于以下應(yīng)用：

帶蓋卡盤處理器 （CCP） 的旋轉(zhuǎn)涂層

1.UNIXX S760+

（21x21 英寸）獨立系統(tǒng)

用于大型基材的旋涂機。

2.UNIXX SA30+

（?300毫米）獨立系統(tǒng)

帶蓋卡盤旋涂機。（單底座）

3. UNIXX SHp22+

（直徑200mm）獨立系統(tǒng)

有蓋卡盤旋涂機和加熱板模塊。

旋涂機 - 開式轉(zhuǎn)鼓

設(shè)計用于以下應(yīng)用：

帶開口碗的旋轉(zhuǎn)涂層，用于標準涂層。

1.UNIXX SA30

（?300毫米）獨立系統(tǒng)

開式轉(zhuǎn)鼓旋涂布機。（單底座）

2. UNIXX SHe22

（直徑200mm）獨立系統(tǒng)

開碗旋涂機和加熱板模塊。