APG 系列 射頻電源和匹配器可提供非常穩(wěn)定的射頻功率輸送性能，以及一個多樣化的模式選

擇，從而使您能夠選擇一套特別適合您應(yīng)用的組件。高質(zhì)量的組件和較少的零件數(shù)量使可靠性和產(chǎn)品生命周期延長，一個直觀、快捷的操作菜單（可在設(shè)備的多功能前面板上切換，并顯示在一個 192 x 64 像素的液晶顯示屏上）帶來了很大的便利性——提高了操作人員的效率，并使培訓(xùn)成本最小化

產(chǎn)品應(yīng)用：

1、等離子清洗 4、增強等離子化學(xué)氣相沉積（PECVD） 2、等離子蝕刻 5、磁控濺射 3、真空鍍膜

產(chǎn)品配件：

 1、 射頻電源（1 臺） 2、國標(biāo)三插電源線：2 米（1 根） 3、射頻電纜：2 米（1 根） 4、產(chǎn)品使用說明書（1 本） 5、匹配器通信數(shù)據(jù)線：3 米（1 根）（可選） 6、用戶接口解鎖頭：可選（1 個）