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OPTELICS AI 2 晶圓缺陷檢測(cè)儀
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海旭量光學(xué)技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) OPTELICS AI 2
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/5/2 12:11:39
- 訪問(wèn)次數(shù) 483
產(chǎn)品標(biāo)簽
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Lasertec已將OPTELICS AI 2商業(yè)化，這是一種新型共聚焦顯微鏡自動(dòng)檢查/檢查系統(tǒng)，集成了高速自動(dòng)缺陷檢查功能、缺陷映射功能和高倍率形狀檢查功能。
特征
從自動(dòng)缺陷檢查到各種材料的半導(dǎo)體晶圓的高倍率檢查和形狀測(cè)量，一個(gè)單元即可處理所有事務(wù)?；钴S于從研發(fā)到量產(chǎn)的各個(gè)階段
高速檢測(cè)：亞微米級(jí)靈敏度可在 15 分鐘內(nèi)完成 3 英寸晶圓的全面檢測(cè)
高倍率回顧：通過(guò)切換物鏡可以進(jìn)行高倍率 3D 形狀測(cè)量
通過(guò)深度學(xué)習(xí)實(shí)現(xiàn)高精度的圖像分類?？梢赃M(jìn)行圖案板檢查和特定缺陷類型的檢查
即使對(duì)于化合物半導(dǎo)體和薄膜等透明樣品，也可以在不受背反射影響的情況下進(jìn)行檢查、高倍率檢查和形狀測(cè)量。
由于 Lasertec 提供從硬件到軟件的完整系統(tǒng)，因此可以根據(jù)客戶的要求定制和支持整個(gè)系統(tǒng)。
用法
各種材質(zhì)半導(dǎo)體晶圓的高速自動(dòng)缺陷檢測(cè)
缺陷審查
缺陷形狀測(cè)量
每個(gè)制造過(guò)程中的缺陷跟蹤
規(guī)格
| 檢查時(shí)間（3"晶圓） | 15分鐘 |
|---|---|
| 檢查對(duì)象 | 各種晶圓（Si、SiC、GaN、InP、AlN、玻璃等）、玻璃基板、薄膜等 |
| 高速自動(dòng)缺陷檢測(cè) | 共焦光學(xué)與微分干涉干涉 |
| 高倍復(fù)習(xí) | 共焦光學(xué)系統(tǒng) |
| 3D形狀測(cè)量 |
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