SMAP-ⅡF 東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機
參考價 | ¥ 21000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳九州工業(yè)品有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SMAP-ⅡF
- 產地 日本
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/2/22 14:28:10
- 訪問次數(shù) 642
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日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1
東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機
東洋研磨材TOYO 打磨機光澤出專用機
用途:支持各種應用
特長
-寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)
-搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1)
-最多8Field的拼接設計格式
-光學系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學物質影響
制品規(guī)格
型式 | PPS-8200p1/8300p1 |
wafer尺寸 | 6/8/12 英寸 |
NA(開口數(shù)) | 0.16、0.1可變 |
縮小比 | 1:1 |
Field尺寸 | 52mm × 33mm |
光刻波長 | ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動) |
視野尺寸 | 6inch |
重復對位精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
裝置尺寸/重量 | (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg |
日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1
用途:支持各種應用
特長
-寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)
-搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1)
-最多8Field的拼接設計格式
-光學系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學物質影響
制品規(guī)格
型式 | PPS-8200p1/8300p1 |
wafer尺寸 | 6/8/12 英寸 |
NA(開口數(shù)) | 0.16、0.1可變 |
縮小比 | 1:1 |
Field尺寸 | 52mm × 33mm |
光刻波長 | ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動) |
視野尺寸 | 6inch |
重復對位精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
裝置尺寸/重量 | (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg |